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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利半导体工艺设备及其夹持装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120109078B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510307993.5，技术领域涉及：H01L21/687；该发明授权半导体工艺设备及其夹持装置是由许璐;张玉涛;赵宏宇设计研发完成，并于2025-03-14向国家知识产权局提交的专利申请。

本半导体工艺设备及其夹持装置在说明书摘要公布了：本申请公开一种半导体工艺设备及其夹持装置，属于半导体制造技术领域。夹持装置包括基座、多个夹持件以及驱动机构，多个夹持件均设置于基座，驱动机构用于驱动多个夹持件相对于基座运动，以使多个夹持件夹持或释放晶圆，驱动机构包括第一磁性件、第二磁性件以及传动组件，第一磁性件位于基座之外，基座设有容腔，第二磁性件和传动组件均位于容腔内，第二磁性件通过传动组件与各夹持件相连，在第一磁性件相对于第二磁性件运动的情况下，第二磁性件通过传动组件带动各夹持件运动。半导体工艺设备包括工艺腔室以及上述的夹持装置，夹持装置设置于工艺腔室。如此，基座无需开设通道，基座相对密封，夹持件不易受工艺环境影响，有利于顺利夹持晶圆。

本发明授权半导体工艺设备及其夹持装置在权利要求书中公布了：1.一种夹持装置，应用于半导体工艺设备，其特征在于，所述夹持装置包括基座100、多个夹持件200以及驱动机构300，所述多个夹持件200均设置于所述基座100，所述驱动机构300用于驱动所述多个夹持件200相对于所述基座100运动，以使所述多个夹持件200夹持或释放晶圆S， 所述驱动机构300包括第一磁性件310、第二磁性件320以及传动组件330，所述第一磁性件310位于所述基座100之外，所述基座100设有容腔100a，所述第二磁性件320和所述传动组件330均位于所述容腔100a内，所述第二磁性件320通过所述传动组件330与各所述夹持件200相连，在所述第一磁性件310相对于所述第二磁性件320运动的情况下，所述第二磁性件320通过所述传动组件330带动各所述夹持件200运动； 所述夹持件200可转动地设置于所述基座100，所述传动组件330包括移动凸轮333以及夹持连杆338，所述移动凸轮333与所述第二磁性件320传动连接，且所述移动凸轮333沿第一方向可移动地设置于所述基座100，所述第一方向与所述夹持件200的转动轴线相交，所述夹持连杆338与所述夹持件200相连，所述第二磁性件320可带动所述移动凸轮333沿所述第一方向移动，且所述移动凸轮333带动所述夹持连杆338和所述夹持件200转动。

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