北京北方华创微电子装备有限公司郭琪瑶获国家专利权
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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利用于工艺腔室的开盖机构及半导体工艺设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120108993B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311657803.X，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权用于工艺腔室的开盖机构及半导体工艺设备是由郭琪瑶;马恩泽;李想设计研发完成，并于2023-12-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于工艺腔室的开盖机构及半导体工艺设备在说明书摘要公布了：本申请属于半导体工艺设备技术领域，具体涉及一种用于工艺腔室的开盖机构及半导体工艺设备。该开盖机构包括支撑座、转动轴和定位件，定位件可相对转动轴活动，转动轴用于与工艺腔室的上盖相连接，支撑座用于与工艺腔室的腔室本体相连接，转动轴可转动地与支撑座连接，转动轴用于在第一转动位置和第二转动位置之间转动，在转动轴处于第一转动位置或第二转动位置的情况下，定位件可相对于转动轴活动以与转动轴定位配合或者解除定位配合。本申请能够解决目前半导体工艺设备的维护难度大和维护时间长的问题。
本发明授权用于工艺腔室的开盖机构及半导体工艺设备在权利要求书中公布了：1.一种用于工艺腔室的开盖机构，其特征在于，包括支撑座813、转动轴822和定位件830，所述定位件830可相对所述转动轴822活动， 所述转动轴822用于与所述工艺腔室的上盖821相连接，所述支撑座813用于与所述工艺腔室的腔室本体810相连接，所述转动轴822可转动地与所述支撑座813连接，所述转动轴822用于在第一转动位置和第二转动位置之间转动， 在所述转动轴822处于所述第一转动位置或所述第二转动位置的情况下，所述定位件830可相对于所述转动轴822活动以与所述转动轴822定位配合或者解除定位配合。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人北京北方华创微电子装备有限公司，其通讯地址为：100176 北京市大兴区经济技术开发区文昌大道8号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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