北京北方华创微电子装备有限公司闫志顺获国家专利权
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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利电极引入装置和半导体工艺设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120072607B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311635148.8，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权电极引入装置和半导体工艺设备是由闫志顺;赵福平;赵佳彬;杨来宝设计研发完成，并于2023-11-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本电极引入装置和半导体工艺设备在说明书摘要公布了：本发明公开一种电极引入装置和半导体工艺设备，所公开的电极引入装置应用于半导体工艺设备，半导体工艺设备包括承载舟，电极引入装置包括第一电极组件和第二电极组件，其中，第一电极组件包括第一电极引入件和第一输气管，第二电极组件包括第二电极引入件和第二输气管，第一电极引入件具有第一电接触部，第二电极引入件具有第二电接触部，第一电接触部和第二电接触部用于与承载舟电接触，第一输气管用于向第一电接触部的接触面的上方吹送保护气体，第二输气管用于向第二电接触部的接触面的上方吹送保护气体。上述方案可以解决相关技术中承载舟与导电石墨块容易接触不良而出现弧光放电，进而引发射频高频的问题。
本发明授权电极引入装置和半导体工艺设备在权利要求书中公布了：1.一种电极引入装置，应用于半导体工艺设备，所述半导体工艺设备包括承载舟900，其特征在于，所述电极引入装置包括第一电极组件200和第二电极组件300，其中， 所述第一电极组件200包括第一电极引入件210和第一输气管220，所述第二电极组件300包括第二电极引入件310和第二输气管320，所述第一电极引入件210具有第一电接触部211，所述第二电极引入件310具有第二电接触部311，所述第一电接触部211和所述第二电接触部311用于与所述承载舟900电接触，所述第一输气管220用于向所述第一电接触部211的接触面的上方吹送保护气体，所述第二输气管320用于向所述第二电接触部311的接触面的上方吹送保护气体。
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