北京北方华创微电子装备有限公司王建琦获国家专利权
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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利校准方法、顶针装置及调平方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120033132B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311579858.3，技术领域涉及：H01L21/68；该发明授权校准方法、顶针装置及调平方法是由王建琦;叶琦设计研发完成，并于2023-11-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本校准方法、顶针装置及调平方法在说明书摘要公布了：本申请公开了一种校准方法、顶针装置及调平方法，涉及半导体领域。一种校准方法包括：计算所述顶针装置自所述最低位移动至所述加速段结束的第一时间和移动至匀速段结束的第三时间，检测所述顶针装置自所述最低位移动至与晶圆接触的第二时间；判断所述第二时间是否在所述第一时间与所述第三时间之间，若否，确定偏移量并重新在软件上校准零点。本申请解决Pin针无法自动调整工位等问题。
本发明授权校准方法、顶针装置及调平方法在权利要求书中公布了：1.一种校准方法，用于对半导体工艺腔室的顶针装置100进行工位校准，其特征在于，所述顶针装置100自最低位至最高位的移动行程包括第一段行程、第二段行程和第三段行程，所述第一段行程位于承载装置200的承载面210的下方，所述第二段行程经过所述承载面210，所述第三段行程位于所述承载面210的上方，其中，所述第二段行程包括依次排布的加速段、匀速段和减速段； 所述校准方法包括： 计算所述顶针装置100自所述最低位移动至所述加速段结束的第一时间和移动至匀速段结束的第三时间，获取所述顶针装置100自所述最低位移动至与晶圆接触的第二时间； 判断所述第二时间是否在所述第一时间与所述第三时间之间，若否，确定偏移量并重新在软件上校准零点；其中， 当所述第二时间小于所述第一时间时，确定的所述偏移量为第一偏移量，并使当前零点加上所述第一偏移量后形成新的零点； 当所述第二时间大于所述第三时间时，确定的所述偏移量为第二偏移量，并使当前零点减去所述第二偏移量后形成新的零点。
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