北京北方华创微电子装备有限公司李杰获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利调度方法、装置、半导体工艺设备及计算机可读存储介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120033104B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311568187.0，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权调度方法、装置、半导体工艺设备及计算机可读存储介质是由李杰;张璐;雷林飞;杨光设计研发完成，并于2023-11-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本调度方法、装置、半导体工艺设备及计算机可读存储介质在说明书摘要公布了：本说明书实施例提供了一种调度方法，该方法在确定多个待出片晶圆的工艺路径时，首先获取晶圆状态，然后根据所述晶圆状态和多个待出片晶圆的工艺路径，确定与多个理论出片顺序分别对应的多个最早完工时间，并将多个所述最早完工时间中用于最短的最早完工时间作为目标最早完工时间，按照目标最早完工时间对应的理论出片顺序，控制所述多个待出片晶圆出片，如此，通过选择用时最短的理论出片顺序作为所述多个待出片晶圆的出片依据，使得所述多个待出片晶圆完成加工的用时最短，有利于减少所述多个待出片晶圆出片后在半导体工艺设备中的总用时，从而减少半导体工艺设备中各工艺腔室的空闲时间，提高工艺腔室的利用率。
本发明授权调度方法、装置、半导体工艺设备及计算机可读存储介质在权利要求书中公布了：1.一种调度方法，其特征在于，应用于半导体工艺设备，用于确定所述半导体工艺设备中多类型晶圆的加工顺序，所述半导体工艺设备包括晶圆装卸位和多个工艺腔室，所述调度方法包括： 获取晶圆状态，所述晶圆状态用于表征已出片晶圆在所述半导体工艺设备中的位置以及工艺状态； 根据所述晶圆状态和多个待出片晶圆的工艺路径，确定与多个理论出片顺序分别对应的多个最早完工时间；所述多个待出片晶圆包括位于所述晶圆装卸位中的多个不同类型的晶圆；所述多个理论出片顺序包括所述多个待出片晶圆的出片顺序的排列组合；所述最早完工时间用于表征所述半导体工艺设备按照与所述最早完工时间对应的所述理论出片顺序加工所述多个待出片晶圆所需的时间； 按照目标最早完工时间对应的所述理论出片顺序，控制所述多个待出片晶圆出片；所述目标最早完工时间为多个所述最早完工时间中，用时最短的最早完工时间。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人北京北方华创微电子装备有限公司，其通讯地址为：100176 北京市大兴区北京经济技术开发区文昌大道8号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励