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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利流量比例控制方法、装置和半导体加工设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120015597B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311526828.6，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权流量比例控制方法、装置和半导体加工设备是由蒋书棋;李宾设计研发完成，并于2023-11-15向国家知识产权局提交的专利申请。

本流量比例控制方法、装置和半导体加工设备在说明书摘要公布了：本发明提供一种流量比例控制方法、装置和半导体加工设备，该方法包括：根据预先配置的硬件参数，确定各进气管路组中所有进气管路的通气截面积中的最大值；确定多个区域中流量比值最大的区域，并将该区域对应的目标通气面积设定为最大值；根据最大值以及各区域对应的流量比值，计算获得其他各区域对应的目标通气面积；根据其他各区域对应的目标通气面积，采用预设算法获得其他各区域对应的进气管路组中需要接通的通断阀的最优组合；控制流量比值最大的区域对应的进气管路组中通气截面积最大的进气管路上的通断阀接通，控制最优组合中各通断阀接通。本方案可以适用于多种不同的硬件参数，而且获得需要接通的通断阀组合采用的方法更简单。

本发明授权流量比例控制方法、装置和半导体加工设备在权利要求书中公布了：1.一种流量比例控制方法，应用于半导体加工设备，用于选择性地控制与工艺腔室内的多个不同区域分别对应的多个进气管路组中各进气管路上的通断阀接通或断开，以控制向多个所述区域分配的气体流量比例，其特征在于，包括： 根据预先配置的硬件参数，确定各所述进气管路组中所有进气管路的通气截面积中的最大值； 确定多个所述区域中流量比值最大的区域，并将该区域对应的目标通气面积设定为所述最大值；各所述区域对应的所述流量比值等于预设的目标流量值与所有所述区域的所述目标流量值之和的比值； 根据所述最大值以及各区域对应的所述流量比值，计算获得其他各区域对应的目标通气面积； 根据其他各区域对应的目标通气面积，采用预设算法获得其他各区域对应的所述进气管路组中需要接通的通断阀的最优组合； 控制流量比值最大的区域对应的所述进气管路组中通气截面积最大的进气管路上的通断阀接通，控制所述最优组合中各所述通断阀接通，并控制不在所述最优组合中的其他通断阀断开，以使向多个所述区域分配的气体流量比例达到目标气体流量比例； 其中，对于所述其他各区域，所述预设算法包括： 执行n次计算过程，获得n个最小差值，并将n个所述最小差值中最小者对应的阀组合作为所述最优组合；n为对应的所述进气管路组的通断阀数量； 其中，第k次所述计算过程，k＝1,2,...,n，包括： 将对应的所述进气管路组的n个通断阀排列组合，获得个包含k个需要接通的通断阀的阀组合； 计算各所述阀组合所包含的k个通断阀对应的通气截面积之和； 根据各所述通气截面积之和与所述目标通气面积的差值，确定所述阀组合对应的所述差值中最小的一者作为所述最小差值；或者 将res[j]＝0，j为目标通气面积，且j＝0,1,2,...,target，target为所述区域对应的目标通气面积；res[j]为最接近j的阀组合的通气截面积之和；res[0]表示对应的进气管路组的所有通断阀均处于断开状态； 对所述进气管路组的各通断阀执行下述计算过程，以获得所述最优组合： 选取第i个通断阀；i＝1,2,...,n，n为对应的所述进气管路组的通断阀数量； 计算获得sum，其中，sum＝res[j-s[i]]+s[i]，s[i]为第i个通断阀在接通时的通气截面积；res[j-s[i]]为最接近j-s[i]的阀组合的通气截面积之和；j＝target； 在sum大于res[j]时，使res[j]＝sum，并记录在j＝target时，需要打开第i个通断阀，且在j大于1的情况下，使target-1，并返回所述选取第i个通断阀；在j小于等于1的情况下，将i+1，并返回所述选取第i个通断阀； 在sum小于等于res[j]时，将i+1，并返回所述选取第i个通断阀。

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