北京北方华创微电子装备有限公司陈沐谦获国家专利权
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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利温度补偿方法、温度补偿装置和工艺腔室获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119943704B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311465337.5，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权温度补偿方法、温度补偿装置和工艺腔室是由陈沐谦设计研发完成，并于2023-11-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本温度补偿方法、温度补偿装置和工艺腔室在说明书摘要公布了：本发明提供一种应用于工艺腔室的温度补偿方法和工艺腔室，温度补偿方法包括：针对每一测温仪，根据测温仪对应位置处膜层的膜厚值以及工艺腔室的温度敏感值确定测温仪对应的第一温度补偿值；将每一测温仪对应的膜厚值与多个膜厚值的平均值之间的差值、膜层的均匀值与预设膜层均匀值之间的差值以及每一测温仪对应的第一温度补偿值输入预先训练的温度补偿模型，得到每一测温仪对应的第二温度补偿值；根据测温仪对应的第一温度补偿值和第二温度补偿值得到测温仪对应的目标温度补偿值。本发明提供的温度补偿方法仅需一步调试便可以找到满足需求的温度补偿值，节省了测试用晶圆的消耗量，简化了机台操作，且能够实现机台自动化确定温度补偿值。
本发明授权温度补偿方法、温度补偿装置和工艺腔室在权利要求书中公布了：1.一种应用于工艺腔室的温度补偿方法，其特征在于，所述工艺腔室包括用于承载衬底的承载基座、加热器以及沿所述承载基座的径向依次设置的多个测温仪，所述温度补偿方法包括： 针对每一所述测温仪，根据所述测温仪对应位置处膜层的膜厚值以及所述工艺腔室的温度敏感值确定所述测温仪对应的第一温度补偿值；其中，所述膜层是以多个所述测温仪在初始设定温度下控制所述加热器在所述衬底上形成的膜层；所述温度敏感值是指单位温度变化下膜层的厚度改变量； 将每一所述测温仪对应的膜厚值与多个所述膜厚值的平均值之间的差值、所述膜层的均匀值与预设膜层均匀值之间的差值以及每一所述测温仪对应的所述第一温度补偿值输入预先训练的温度补偿模型，得到每一所述测温仪对应的第二温度补偿值； 针对每一所述测温仪，根据所述测温仪对应的所述第一温度补偿值和所述第二温度补偿值得到所述测温仪对应的目标温度补偿值。
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