西安交通大学陈烽获国家专利权
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龙图腾网获悉西安交通大学申请的专利PDMS内壁的石英玻璃微通道结构及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119926538B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411992757.3,技术领域涉及:B01L3/00;该发明授权PDMS内壁的石英玻璃微通道结构及其制备方法是由陈烽;田萌达;杨青设计研发完成,并于2024-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本PDMS内壁的石英玻璃微通道结构及其制备方法在说明书摘要公布了:本发明提供了一种PDMS内壁的石英玻璃微通道结构及其制备方法,用于解决现有石英玻璃的微通道内壁较为粗糙,且采用溶剂挥发成膜法在微通道内壁制备有机物薄膜时存在的溶液在微通道内的挥发过程不可控,导致薄膜厚度均匀性较差,或者当溶液浓度较低时,其难以沿微通道纵向形成连续的薄膜,或者当溶液浓度较高时,溶剂挥发后容易出现有机物堵塞微通道的技术问题。本发明提供的PDMS内壁的石英玻璃微通道结构的制备方法,采用低温处理+梯度热固化+恒压吹气的方法在石英玻璃的微通道内壁上制备PDMS薄膜,获得的PDMS薄膜连续性和均匀性好,可以显著改善石英玻璃微通道内壁的粗糙度。
本发明授权PDMS内壁的石英玻璃微通道结构及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种PDMS内壁的石英玻璃微通道结构的制备方法,其特征在于,包括以下步骤: 步骤1,用飞秒激光在选取的石英玻璃内部按预设路径扫描出改性区域; 步骤2,把扫描出改性区域的石英玻璃浸泡在刻蚀溶液中,使石英玻璃的改性区域被刻蚀为微通道; 步骤3,将PDMS溶液填充到石英玻璃的微通道内;所述PDMS溶液含有聚二甲基硅氧烷与固化剂,其重量比为20:1~5:1; 步骤4,对石英玻璃进行加热,待石英玻璃微通道中靠近内壁的PDMS溶液处于固化状态,而靠近中心的PDMS溶液处于半固化状态时,采用吹气方式吹除微通道中心半固化状态的PDMS溶液; 步骤5,对微通道内壁上初步形成的PDMS薄膜进行进一步加热固化,形成连续、光滑的PDMS薄膜,完成石英玻璃微通道结构的制备。
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