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龙图腾网获悉中国科学院西安光学精密机械研究所申请的专利一种大幅面大尺寸样品的激光刻蚀装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119870718B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411995082.8，技术领域涉及：B23K26/362；该发明授权一种大幅面大尺寸样品的激光刻蚀装置及方法是由王宁;赵华龙;刘紫涵设计研发完成，并于2024-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种大幅面大尺寸样品的激光刻蚀装置及方法在说明书摘要公布了：本发明提供了一种大幅面大尺寸样品的激光刻蚀装置及方法，用于解决现有振镜轴和运动轴联动的激光加工方式在面对复杂填充的图形时，由于快轴和慢轴响应速度差异，造成不同图形段加工速度不均匀，形成响应速度不一致的拼接痕迹的技术问题。本发明提供的一种大幅面大尺寸样品的激光刻蚀方法，通过激光扫描部分、样品运动部分、支架以及控制器组成的大幅面大尺寸样品的激光刻蚀装置，并采用“轨迹分解+多层填充”相结合的方法实现无拼接痕迹的激光刻蚀加工，避免了传统快慢轴联动系统带来的速度响应不一致造成的拼接痕迹问题，保证了大面积刻蚀加工的可靠性和一致性。

本发明授权一种大幅面大尺寸样品的激光刻蚀装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种大幅面大尺寸样品的激光刻蚀方法，其特征在于，包括以下步骤： S0，搭建激光刻蚀装置；所述激光刻蚀装置包括激光扫描部分、样品运动部分、支架35以及控制器33；所述激光扫描部分包括激光系统、Z运动轴27和旁轴CCD34；样品运动部分包括X运动轴31和Y运动轴32；Z运动轴27、X运动轴31、Y运动轴32由上至下依次安装在支架35上，且X运动轴31连接在Y运动轴32的运动端； 所述X运动轴31的运动端上表面安装有夹具30；所述激光系统和旁轴CCD34均安装在Z运动轴27上；激光系统包括激光器和振镜偏转镜28，激光器出射的激光通过振镜偏转镜28进行偏转；夹具30上用于装夹样品29的位置位于激光经振镜偏转镜28偏转后的激光光路上； S1，参数标定及样品装夹； 控制X运动轴31、Y运动轴32以及Z运动轴27分别位于设定的标准零点位置，并对振镜偏转镜28进行打点标定；然后将样品29装夹在夹具30上，并采用旁轴CCD34对样品29进行对位； S2，导入待加工图档，进行多层直线旋转填充； 将待加工图档导入控制器33中，对待加工图档进行n层填充，形成n层图形；每层图形分别进行直线填充，使图形的待加工区域生成多个等间距的直线，直线的起点和终点为图形的边界；以第一层图形填充的直线方向作为基准线方向，后续每层图形填充的直线与基准线的夹角以预设的角度增量进行增加，使n层图形之间形成旋转填充； S3，图形分解； 将每层图形按设定间距分解为m个特征点，并生成m个特征点对应的m条几何切线； S4，图形拐角矩阵的计算； 将每层图形中相邻两个特征点对应的几何切线之间的夹角记为拐角，则有m-1个拐角，进而获得m-1个拐角向量；根据每层图形的m-1个拐角向量分别计算获得每层图形的拐角矩阵； S5，各轴坐标和速度分配； 通过下式计算判定基准值M： 其中，Gm为拐角矩阵中的特征点拐角值； 根据计算的判定基准值M对振镜偏转镜28和运动轴的加工坐标和加工速度进行分配，形成m-1个振镜偏转镜加工向量和m-1个运动轴加工向量，具体为：判断判定基准值M是否大于1，若是，则需要对振镜偏转镜28和运动轴的加工坐标和加工速度进行分配；若否，仅对振镜偏转镜28和运动轴的加工速度进行分配； 根据每层图形中m-1个振镜偏转镜加工向量计算获得对应层的振镜偏转镜加工矩阵K，根据每层图形中m-1个运动轴加工向量计算获得对应层的运动轴加工矩阵F； S6，将每层图形的振镜偏转镜加工矩阵和运动轴加工矩阵分别输入控制器中，并设定激光系统的加工工艺参数；控制器33根据步骤S1中旁轴CCD34采集的样品29的定位坐标和每一层相应的运动轴加工矩阵F控制X运动轴31、Y运动轴32、Z运动轴27分别运动至相应位置，并通过每一层相应的振镜偏转镜加工矩阵K控制振镜偏转镜28的加工速度，完成激光刻蚀。

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