龙微科技无锡有限公司汪祖民获国家专利权
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龙图腾网获悉龙微科技无锡有限公司申请的专利一种MEMS压力传感器及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119860869B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510109783.5,技术领域涉及:G01L1/20;该发明授权一种MEMS压力传感器及其制备方法是由汪祖民;周海慧;夏成君;金徐富;张建中;毛梦伟设计研发完成,并于2025-01-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种MEMS压力传感器及其制备方法在说明书摘要公布了:本发明属于微电子机械系统MEMS技术领域,且公开了一种MEMS压力传感器及其制备方法,包括微机电芯片,所述微机电芯片的外壁上滑动安装有固定盖,所述微机电芯片两侧的顶部分别固定设置有若干个引脚,所述固定盖的两侧外壁上分别开设有若干个安装槽,若干个所述安装槽的内壁上分别设置有相同的引导机构;通过设置引导机构,通过每个引脚都被两个引导板包围,确保了每个引脚都能被准确地定位和分离,有效防止了安装过程中的错位问题,还提供了额外的稳定性和准确性,引导板的引导功能,使得芯片能够顺利、无误地对接到主板上的预定位置,大幅提升了安装的精确度和可靠性,增强了引脚与主板连接的稳固性。
本发明授权一种MEMS压力传感器及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种MEMS压力传感器,包括微机电芯片1,其特征在于:所述微机电芯片1的外壁上滑动安装有固定盖2,所述微机电芯片1两侧的顶部分别固定设置有若干个引脚3,所述固定盖2的两侧外壁上分别开设有若干个安装槽202,若干个所述安装槽202的内壁上分别设置有相同的引导机构; 所述引导机构包括铰接安装在安装槽202的内壁上的两个引导板2021,两个所述引导板2021与安装槽202相互靠近的一侧分别通过弹簧二2022弹性连接,两个所述引导板2021均与对应的引脚3滑动连接; 所述微机电芯片1的正面和背面分别固定安装有固定板101,所述固定板101的顶部设置有若干个卡扣机构; 所述固定盖2的顶部内壁上固定安装有若干个圆柱201,若干个所述圆柱201的底部分别固定安装有卡块2011; 所述卡扣机构包括固定安装在固定板101顶部的两个固定块1011,两个所述固定块1011相互靠近的一侧铰接安装有两个夹持块1012,两个所述夹持块1012相铰接,两个所述夹持块1012与固定板101的顶部分别通过两个弹簧一1013弹性连接,两个所述夹持块1012均与对应的卡块2011相卡接。
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