北京北方华创微电子装备有限公司王之东获国家专利权
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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利一种机械手及半导体传输设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119839901B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510252243.2,技术领域涉及:B25J15/08;该发明授权一种机械手及半导体传输设备是由王之东;陈二庆;温学伟;李晓婷设计研发完成,并于2025-03-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种机械手及半导体传输设备在说明书摘要公布了:本申请公开一种机械手和半导体传输设备,所公开的机械手包括机械手本体和吹气装置,机械手本体设有承托面和气体流通空间,承托面可用于承托待承载物,气体流通空间位于承托于承托面上的待承载物的下方;吹气装置设置在机械手本体,吹气装置具有吹气口,吹气口用于沿平行于承托面的方向上向气体流通空间吹扫冷却气体,以在气体流通空间形成用于吸附待承载物的负压区域,利用待承载物两侧的压差,可以将待承载物压紧于承托面上,从而增大了待承载物与机械手本体之间的摩擦力,保证了机械手在以较大的加速度运行的情况下,待承载物也不易出现滑移、脱落的问题,进而提升了待承载物的传输效率和产能。
本发明授权一种机械手及半导体传输设备在权利要求书中公布了:1.一种机械手,其特征在于,包括机械手本体100和吹气装置200; 所述机械手本体100设有承托面111和气体流通空间,所述承托面111用于承托待承载物,所述气体流通空间位于所述承托于所述承托面111上的所述待承载物的下方; 所述吹气装置200设于所述机械手本体100,所述吹气装置200具有吹气口210,所述吹气口210用于沿平行于所述承托面111的方向上向所述气体流通空间吹扫冷却气体,以在所述气体流通空间形成用于吸附所述待承载物的负压区域; 所述机械手本体100包括呈弧形结构的载台110,所述承托面111为所述载台110的顶面,所述载台110所限定的区域形成所述气体流通空间,所述吹气口210设于所述载台110的内侧面; 所述机械手本体100开设有放片槽120,所述载台110设于所述放片槽120的槽底,沿所述放片槽120的深度方向上,所述载台110低于所述放片槽120的槽侧壁,所述放片槽120的槽侧壁用于与所述待承载物的侧面限位配合; 所述气体流通空间位于所述放片槽120的槽底与所述待承载物之间,所述弧形结构呈C字型,所述C字型的开口位于所述机械手本体100远离所述吹气口210的一侧。
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