南京大学余林蔚获国家专利权
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龙图腾网获悉南京大学申请的专利一种基于纳米线间隙结构的微纳电池、制备方法及应用获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119833705B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510099744.1,技术领域涉及:H01M10/052;该发明授权一种基于纳米线间隙结构的微纳电池、制备方法及应用是由余林蔚;宋晓攀;王军转设计研发完成,并于2025-01-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于纳米线间隙结构的微纳电池、制备方法及应用在说明书摘要公布了:本发明公开了一种基于纳米线间隙结构的微纳电池,包括衬底,所述衬底表面原位生长有正、负电极,所述正、负电极的相对端部及间隙间设有液态或固态电解质,所述正、负电极的外端部分别沉积有金属集流体。本发明通过原位生长技术定位纳米线电极,实现纳米到微米尺度的精确电极间距控制,显著减小了电池尺寸,适合微纳电子器件功能与大规模高密度微电池集成应用。
本发明授权一种基于纳米线间隙结构的微纳电池、制备方法及应用在权利要求书中公布了:1.一种基于纳米线间隙结构的微纳电池的制备方法,其特征在于,包括如下步骤: A、利用光刻技术在衬底上定义引导台阶,再用电感耦合等离子体刻蚀方法在衬底刻蚀出台阶结构; B、利用光刻工艺和蒸发溅射金属淀积工艺,在台阶端部制备金属或金属合金催化层,作为纳米线的生长起点位置;随后在还原性气体H2的等离子体作用下,在高于金属熔点的温度下进行处理,使覆盖在引导沟道上的金属或金属合金催化层转变成为分离的纳米颗粒; C、通过等离子体增强化学气相沉积技术在样品表面覆盖前驱体,在200~300℃下,金属或者金属合金的纳米颗粒吸收所述前驱体生成具有间隙的正、负电极纳米线,或生成独立一根纳米线电极,残余前驱体层通过反应离子刻蚀工艺清除; D、通过光刻、电子束蒸发工艺在所述正、负电极纳米线的两端选择性沉积金电极作为金属集流体, 或,在距离所述独立一根纳米线电极10nm~10μm位置处沉积含锂金属层作为金属电极,再于所述独立一根纳米电极线和含锂金属电极两端分别沉积金电极作为金属集流体; E、通过原子层沉积技术,在正、负电极相靠近的一端及间隙沉积一层固体电解质界面或者通过喷墨打印技术进行液态电解质的滴配,即完成微纳电池的制备。
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