华东师范大学曲益明获国家专利权
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龙图腾网获悉华东师范大学申请的专利一种铪锆氧化物薄膜铁电电容的高湿环境性能保持方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119743958B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411861698.6，技术领域涉及：H10D1/62；该发明授权一种铪锆氧化物薄膜铁电电容的高湿环境性能保持方法是由曲益明;赵毅;吴凡设计研发完成，并于2024-12-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种铪锆氧化物薄膜铁电电容的高湿环境性能保持方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种铪锆氧化物薄膜铁电电容的高湿环境性能保持方法，包括湿法工艺后的退火处理和器件的抗湿结构。在湿法工艺中，铪锆氧化物薄膜易与水汽反应生成氢氧化锆。通过选择合适的退火温度可以逆转该反应，确保薄膜成分的稳定。同时，铪锆氧化物薄膜器件在环境中容易吸湿，从而影响性能。因此，选择与水汽反应的吉布斯自由能为正的氧化物薄膜作为保护层，以抑制薄膜与水汽的反应。本发明能够有效保持铪锆氧化物薄膜铁电器件的性能，并且在工艺实施上较为简便。
本发明授权一种铪锆氧化物薄膜铁电电容的高湿环境性能保持方法在权利要求书中公布了：1.一种铪锆氧化物薄膜铁电电容的高湿环境性能保持方法，其特征在于，该方法包括： 对高湿环境处理后的铪锆氧化物薄膜铁电电容器件进行快速热退火处理；根据不同温度下氧化锆与水汽反应的吉布斯自由能变化，确定快速热退火处理温度；所述快速热退火处理温度低于铪锆氧化物薄膜的结晶温度，同时高于氧化锆与水汽反应吉布斯自由能为零的温度，以实现氢氧化锆的分解； 根据不同氧化物材料与水汽在常温常压下反应的吉布斯自由能，选取氧化物保护层；该氧化物保护层与水汽在常温常压下反应的吉布斯自由能大于零，无法生成相应的氢氧化物，从而有效隔绝铪锆氧化物薄膜与水汽的接触，保护铪锆氧化物薄膜内部组分不受外界湿度影响。
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