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龙图腾网获悉深圳市新凯来工业机器有限公司申请的专利调平装置、调平设备和调平设备的调平方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119742264B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411921964.X，技术领域涉及：H01L21/68；该发明授权调平装置、调平设备和调平设备的调平方法是由粟存通;徐晶晶设计研发完成，并于2024-12-23向国家知识产权局提交的专利申请。

本调平装置、调平设备和调平设备的调平方法在说明书摘要公布了：本申请提供一种调平装置、调平设备和调平设备的调平方法，可以实现高效调平。调平装置包括底板、多个柔性调平件、承载件和多个调平紧固件，底板具有第一面，多个柔性调平件均安装于第一面，每一柔性调平件可沿柔性调平件的高度方向发生弹性变形，每一柔性调平件的第二固定孔与底板的第一固定孔连通；承载件安装于多个柔性调平件背离第一面的一侧，承载件具有背离多个柔性调平件的承载面，承载面用于承载待调平件，承载件的每一第三固定孔与一个柔性调平件的第二固定孔连通；每一调平紧固件均穿设于一个第三固定孔、一个第二固定孔和一个第一固定孔，每一调平紧固件用于调节一个柔性调平件的高度。

本发明授权调平装置、调平设备和调平设备的调平方法在权利要求书中公布了：1.一种调平装置，其特征在于，包括底板、多个柔性调平件、承载件和多个调平紧固件，所述底板具有第一面，所述底板设有多个第一固定孔，多个所述第一固定孔彼此间隔设置，每一所述固定孔的开口均位于所述第一面； 多个所述柔性调平件均安装于所述第一面，每一所述柔性调平件可沿所述柔性调平件的高度方向发生弹性变形，每一所述柔性调平件均设有第二固定孔，所述第二固定孔沿所述柔性调平件的高度方向贯穿所述柔性调平件，且与所述第一固定孔连通，每一所述柔性调平件均包括柔性基座和柔性球台，所述柔性基座安装于所述第一面，所述柔性基座设有第一子孔，所述第一子孔沿所述柔性基座的高度方向上贯穿所述柔性基座，且与所述第一固定孔连通，所述柔性球台安装于所述柔性基座背离所述第一面的一侧，所述柔性球台设有第二子孔，所述第二子孔沿所述柔性球台的高度方向贯穿所述柔性球台，且与所述第一子孔连通，其中，所述第二固定孔包括所述第一子孔和所述第二子孔； 其中，所述柔性球台还设有第一通孔，所述第一通孔位于所述柔性球台靠近所述柔性基座的一侧，且沿所述柔性球台的厚度方向上贯穿所述柔性球台，且与所述第二子孔间隔设置，和或，所述柔性基座设有第二通孔，所述第二通孔位于所述柔性基座靠近所述柔性球台的一侧，且沿所述柔性基座的宽度方向上贯穿所述柔性基座，并与所述第一子孔间隔设置； 所述承载件安装于多个所述柔性调平件背离所述第一面的一侧，且位于所述柔性球台背离所述柔性基座的一侧，所述承载件具有背离多个所述柔性调平件的承载面，所述承载面用于承载待调平件，所述承载件设有多个第三固定孔，每一所述第三固定孔沿所述承载件的厚度方向贯穿所述承载件，且与一个所述柔性调平件的所述第二固定孔连通； 每一所述调平紧固件均穿设于一个所述第三固定孔、一个所述柔性调平件的所述第二固定孔和一个所述第一固定孔，每一所述调平紧固件用于调节一个所述柔性调平件的高度。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人深圳市新凯来工业机器有限公司，其通讯地址为：518100 广东省深圳市龙岗区平湖街道山厦社区中环大道中科谷产业园6栋1301；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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