中国科学院兰州化学物理研究所张斌获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学院兰州化学物理研究所申请的专利一种橡胶表面TiCr/Cu多层复合薄膜的制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119710571B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510002445.1,技术领域涉及:C23C14/32;该发明授权一种橡胶表面TiCr/Cu多层复合薄膜的制备方法是由张斌;张俊彦;杨攀峰设计研发完成,并于2025-01-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种橡胶表面TiCr/Cu多层复合薄膜的制备方法在说明书摘要公布了:本发明公开一种橡胶表面TiCrCu多层复合薄膜的制备方法,先利用磁过滤阴极弧沉积技术在橡胶基底表面沉积Ti金属粘结层,再结合高功率脉冲磁控溅射技术依次沉积TiCr梯度混合层、TiCrCu梯度承载层以及由TiCr层和Cu层交替组成的表面层。获得的得TiCrCu多层复合薄膜,摩擦系数相对于裸橡胶的1.3降低至0.3左右。
本发明授权一种橡胶表面TiCr/Cu多层复合薄膜的制备方法在权利要求书中公布了:1.一种橡胶表面TiCrCu多层复合薄膜的制备方法,其特征在于,先利用磁过滤阴极弧沉积技术在橡胶基底表面沉积Ti金属粘结层,再结合高功率脉冲磁控溅射技术依次沉积TiCr梯度混合层、TiCrCu梯度承载层以及由TiCr层和Cu层交替组成的表面层,具体工艺如下: 1先将清洗干净的橡胶基底固定在真空室内,抽真空至2×10-4Pa;真空室内安装有磁控溅射用Cu靶和Cr靶,Cu靶和Cr靶之间连接有弯曲型磁过滤管,弯曲型磁过滤管另一端固定有磁过滤阴极弧沉积用Ti电弧靶; 2开启磁过滤阴极弧沉积用Ti电弧靶,Ti靶电流设定为75~85A,偏压350~400V,Ar气气压0.3~0.5Pa,橡胶基底转速1~2rmin,沉积时间15~20min; 3其余条件保持不变,调整Ti电弧靶电流为120~130A,同时打开磁控溅射用Cr靶,从0A在20min内逐渐升高到12A,偏压65~75V,沉积时间20~25min; 4其余条件保持不变,打开磁控溅射用Cu靶,设定电流5~10A,偏压65~75V,沉积时间10~15min; 5先沉积TiCr层再沉积Cu层,交替进行140~160个循环;沉积TiCr层时,关闭磁控溅射用Cu靶,保持磁过滤阴极弧沉积用Ti电弧靶和磁控溅射用Cr靶工艺参数不变,沉积5~10min;沉积Cu层时,关闭磁过滤阴极弧沉积用Ti电弧靶和磁控溅射用Cr靶,保持磁控溅射用Cu靶工艺参数不变,沉积5~10min。
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