上海交通大学刘武获国家专利权
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龙图腾网获悉上海交通大学申请的专利基于PT对称的谐振型流场MEMS传感器及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119689020B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411879781.6，技术领域涉及：G01P5/08；该发明授权基于PT对称的谐振型流场MEMS传感器及其制备方法是由刘武;傅义航;吕乐洋;赵浩文设计研发完成，并于2024-12-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本基于PT对称的谐振型流场MEMS传感器及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明公开一种基于PT对称的谐振型流场MEMS传感器及其制备方法，包括：两个双端固定音叉谐振器耦合，其结构镜面对称，质量大小相等；两个双端固定音叉谐振器位于同一直线上；梳齿电容对称分布于每个双端固定音叉谐振器的两侧；两个可调阻尼电路通过引线与电极层连接，实现与两个双端固定音叉谐振器的对应连接；两个可调阻尼电路的等效阻尼，符号相反、大小相等；纤毛支撑结构悬空设置在一个双端固定音叉谐振器的一端；微杠杆连接纤毛支撑结构及双端固定音叉谐振器；纤毛设置在纤毛支撑结构上；玻璃作为传感器的基底。本发明能使谐振型流场MEMS传感器获得更高灵敏度的微扰响应性能，实现对微弱流速的灵敏测量。
本发明授权基于PT对称的谐振型流场MEMS传感器及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种基于PT对称的谐振型流场MEMS传感器，其特征在于，包括： 双端固定音叉谐振器，其音叉两两呈镜面对称，每个音叉的质量和大小相等；两个所述双端固定音叉谐振器位于同一直线上； 机械耦合结构，将两个所述双端固定音叉谐振器弱耦合连接； 纤毛支撑结构，设置在一个所述双端固定音叉谐振器的一端； 连接梁，所述连接梁连接所述纤毛支撑结构，使其悬空； 微杠杆，所述微杠杆连接所述纤毛支撑结构及近处的所述双端固定音叉谐振器； 纤毛，所述纤毛设置在所述纤毛支撑结构上； 梳齿电容，所述梳齿电容对称分布于每个所述双端固定音叉谐振器的两侧； 电极层，所述电极层与所述梳齿电容、所述纤毛连接； 可调阻尼电路，两个所述可调阻尼电路通过引线与所述电极层连接，实现与两个所述双端固定音叉谐振器的对应连接；两个所述可调阻尼电路能够使得作用于两个所述双端固定音叉谐振器的等效阻尼符号相反、大小相等，实现PT对称； 玻璃，作为传感器的基底。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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