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龙图腾网获悉株式会社斯库林集团申请的专利基板处理装置及基板处理方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119673798B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410759517.2，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权基板处理装置及基板处理方法是由伊藤明;永井泰彦;秋山刚志;山本滋;岩田敬次设计研发完成，并于2024-06-13向国家知识产权局提交的专利申请。

本基板处理装置及基板处理方法在说明书摘要公布了：本发明涉及基板处理装置及基板处理方法。基板处理装置的溶剂供给部配置在比处理槽的上表面的开口高的位置，并在俯视时从处理槽的外侧向处理槽的内侧供给雾状的溶剂。控制部在基板浸渍于处理液中时进行溶剂供给动作，即，对腔室内进行减压，并且从溶剂供给部供给雾状的溶剂。当处于对腔室内进行减压且供给溶剂的溶剂供给状态时，控制部使升降器将基板从处理槽内的处理液中取出，之后，通过打开QDR阀而从处理槽排出处理液。在处于溶剂供给状态时，控制部由升降器使基板下降到未贮存处理液的处理槽内的下位置，之后，由升降器使基板上升。

本发明授权基板处理装置及基板处理方法在权利要求书中公布了：1.一种基板处理装置，对基板进行处理，其特征在于，具备： 处理槽，其贮存处理液； 腔室，其容纳所述处理槽； 减压泵，其对所述腔室内进行减压； 升降器，其在保持基板的同时使所述基板在所述腔室内升降； 开闭阀，其从所述处理槽排出所述处理液； 溶剂供给部，其是设于所述腔室内的溶剂供给部，配置在比形成于所述处理槽的上表面的开口高的位置，并在俯视时从所述处理槽的外侧向所述处理槽的内侧供给雾状及液滴状中的至少一种形状的溶剂；和 控制部， 所述控制部在所述基板浸渍于所述处理液中时进行溶剂供给动作，即，使所述减压泵对所述腔室内进行减压，并且从所述溶剂供给部供给雾状及液滴状中的至少一种形状的所述溶剂， 当处于对所述腔室内进行减压且供给所述溶剂的溶剂供给状态时，所述控制部使所述升降器将所述基板从所述处理槽内的所述处理液中取出，之后，通过打开所述开闭阀而从所述处理槽排出所述处理液， 在处于所述溶剂供给状态时，所述控制部进行基板升降动作，即，由所述升降器使所述基板下降到未贮存所述处理液的所述处理槽内的位置，并由所述升降器使所述基板在所述处理槽内的位置以预先设定的下待机时间待机，之后，由所述升降器使所述基板上升，并由所述升降器使所述基板在所述基板上升后的位置以预先设定的上待机时间待机， 所述下待机时间比所述上待机时间长。

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