北京北方华创微电子装备有限公司王斐斐获国家专利权
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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利负载锁定组件及半导体工艺设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119650456B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311198509.7，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权负载锁定组件及半导体工艺设备是由王斐斐;刘晓行;张旭;姬云磊设计研发完成，并于2023-09-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本负载锁定组件及半导体工艺设备在说明书摘要公布了：本发明提供一种负载锁定组件及半导体工艺设备，负载锁定组件，用于半导体工艺设备，包括：负载锁定腔室；预调压腔室；控制阀，控制阀连接在负载锁定腔室与预调压腔室之间；在控制阀的关闭状态，预调压腔室内部预先调节至与负载锁定腔室不同的气压状态，形成压力差；在控制阀的开启状态，预调压腔室与负载锁定腔室连通，以调节负载锁定腔室内的气压。本发明的负载锁定组件通过增加预调压腔室，可以在进行其他步骤时预先调节预调压腔室内的气压，在与负载锁定腔室连通后，使负载锁定腔室内部快速达到真空状态或大气状态，减少晶圆在传输过程中的等待时间，提高整机传输效率。
本发明授权负载锁定组件及半导体工艺设备在权利要求书中公布了：1.一种负载锁定组件，用于半导体工艺设备，其特征在于，包括： 负载锁定腔室10； 预调压腔室20，所述预调压腔室20的容积大于所述负载锁定腔室10的容积； 控制阀30，所述控制阀30连接在所述负载锁定腔室10与所述预调压腔室20之间，所述控制阀30具有将所述负载锁定腔室10与所述预调压腔室20连通的开启状态以及将所述负载锁定腔室10与所述预调压腔室20之间阻断的关闭状态； 在所述控制阀30的关闭状态，所述预调压腔室20内部预先调节至与所述负载锁定腔室10不同的气压状态，形成压力差； 在所述控制阀30的开启状态，所述预调压腔室20与所述负载锁定腔室10连通，在压力差的作用下，所述预调压腔室20将所述负载锁定腔室10内的气体抽出或向所述负载锁定腔室10内充入气体，以调节所述负载锁定腔室10内的气压。
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