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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利传输装置的控制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119626949B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411689802.8，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权传输装置的控制方法是由张洪;郑慧娜;闫志顺;贾士亮;郑建宇设计研发完成，并于2024-11-22向国家知识产权局提交的专利申请。

本传输装置的控制方法在说明书摘要公布了：本发明公开一种传输装置的控制方法，传输装置包括硅片机械手、载片板暂存装置和载片板；硅片机械手包括N个间隔分布的第一机械手指；载片板暂存装置用于承载成组的载片板，每组载片板包括M个在载片板暂存装置承载方向上间隔分布的载片板，每个载片板设有硅片槽；在每组载片板中，任意两个载片板上的硅片槽一一相对，以使相邻的N个载片板上相对的硅片槽构成槽组；M和N均大于或等于2，且M大于或等于N，M与N的比值为大于或等于1的正整数，控制方法包括：控制硅片机械手的N个第一机械手指抓取N片硅片；控制抓取硅片后的硅片机械手朝向载片板暂存装置；控制硅片机械手将其抓取的N片硅片成组地放置在载片板暂存装置对应的槽组中。

本发明授权传输装置的控制方法在权利要求书中公布了：1.一种传输装置的控制方法，其特征在于，所述传输装置200包括硅片机械手240、载片板暂存装置220和载片板230； 所述硅片机械手240包括N个间隔分布的第一机械手指241；所述载片板暂存装置220用于承载成组的所述载片板230，每组所述载片板230包括M个在所述载片板暂存装置220承载方向上间隔分布的所述载片板230，每个所述载片板230设有硅片槽；在每组所述载片板230中，任意两个所述载片板230上的所述硅片槽一一相对，以使相邻的N个所述载片板230上相对的所述硅片槽构成槽组；M和N均大于或等于2，且M大于或等于N，M与N的比值为大于或等于1的正整数，所述控制方法包括： 控制所述硅片机械手240的N个所述第一机械手指241抓取N片硅片； 控制抓取所述硅片后的所述硅片机械手240朝向所述载片板暂存装置220； 控制所述硅片机械手240将其抓取的N片所述硅片成组地放置在所述载片板暂存装置220对应的所述槽组中，以使每组所述硅片包含的N个所述硅片一一对应地放置在相应的所述槽组的所述硅片槽中。

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