北京北方华创微电子装备有限公司刘登明获国家专利权
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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利工艺腔室、载片板机械手和载片板暂存装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119626933B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411689821.0，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权工艺腔室、载片板机械手和载片板暂存装置是由刘登明;江伟;李补忠设计研发完成，并于2024-11-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本工艺腔室、载片板机械手和载片板暂存装置在说明书摘要公布了：本发明公开一种工艺腔室、载片板机械手和载片板暂存装置，所述工艺腔室包括腔室本体、升降机构和设于腔室本体内的加热器，加热器包括间隔分布的多层加热板，加热板用于加热其承载的携带有硅片的载片板；加热板设有避让结构；升降机构包括设于腔室本体内的升降架，升降架包括间隔分布的多层第一支撑块，每层第一支撑块与相应的加热板的避让结构相对；在升降架上升的过程中，每层第一支撑块向上穿过相对的避让结构并承载对应的载片板，以使载片板与相应的加热板分离；在升降架下降的过程中，每层第一支撑块向下穿过相对的避让结构并使其承载的载片板落在相应的加热板上，以与其承载的载片板分离。
本发明授权工艺腔室、载片板机械手和载片板暂存装置在权利要求书中公布了：1.一种工艺腔室，其特征在于，包括腔室本体110、升降机构130和设于所述腔室本体110内的加热器120，所述加热器120包括间隔分布的多层加热板121，所述加热板121用于加热其承载的携带有硅片的载片板230；所述加热板121设有避让结构1211； 所述升降机构130包括设于所述腔室本体110内的升降架132，所述升降架132包括间隔分布的多层第一支撑块1321，每层所述第一支撑块1321与相应的所述加热板121的所述避让结构1211相对； 在所述升降架132上升的过程中，每层所述第一支撑块1321向上穿过相对的所述避让结构1211并承载对应的所述载片板230，以使所述载片板230与相应的所述加热板121分离；在所述升降架132下降的过程中，每层所述第一支撑块1321向下穿过相对的所述避让结构1211并使其承载的所述载片板230落在相应的所述加热板121上，以与其承载的所述载片板230分离。
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