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龙图腾网获悉应用材料公司申请的专利非接触式的清洁模块获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119542198B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411723643.9，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权非接触式的清洁模块是由J·兰加拉简;A·布兰克;E·戈卢博夫斯基;B·C·加嘎纳坦;S·M·苏尼卡;E·米克海利琴科;M·A·安德森;J·P·多明设计研发完成，并于2019-08-05向国家知识产权局提交的专利申请。

本非接触式的清洁模块在说明书摘要公布了：一种用于清洁晶片的清洁模块包含晶片夹持装置，所述晶片夹持装置被配置为在垂直定向上支撑晶片并且包含接取杯和夹持器组件。接取杯包含具有环形内表面的壁，该环形内表面限定处理区域并且具有成角度部分，所述成角度部分关于晶片夹持装置的中心轴对称。夹持器组件包含第一板组件、第二板组件、多个夹持销、以及多个装载销。夹持销被配置为在清洁工艺期间夹持晶片，并且装载销被配置为在装载和卸载工艺期间夹持晶片。清洁模块进一步包含耦接到喷嘴机构的吹扫臂，所述喷嘴机构被配置为将液体递送到晶片的前侧和背侧。

本发明授权非接触式的清洁模块在权利要求书中公布了：1.一种清洁模块，包括： 晶片夹持装置，所述晶片夹持装置被配置为在垂直定向上支撑晶片，所述晶片夹持装置包括： 接取杯，所述接取杯包括壁，所述壁具有限定处理区域的环形内表面；以及 夹持器组件，所述夹持器组件包括： 第一板组件，所述第一板组件包括多个装载销，所述多个装载销中的每一个被配置为支撑被定向为垂直定向的晶片的边缘；以及 第二板组件，所述第二板组件包括多个夹持销，所述多个夹持销中的每一个夹持销被配置为： 基于所述第二板组件被定位于在水平方向上与所述第一板组件相距第二距离，所述多个夹持销中的每一个夹持销被配置为定位在与所述晶片夹持装置的中心轴相距第一距离处，其中当所述多个夹持销中的每一个夹持销被定位在与所述中心轴相距所述第一距离时，所述多个夹持销中的每一个夹持销被配置为接触所述晶片的边缘并且在垂直定向上固持所述晶片； 基于所述第二板组件被定位于在水平方向上与所述第一板组件相距第四距离，所述多个夹持销中的每一个夹持销被配置为定位在与所述中心轴相距第三距离处，其中所述第三距离大于所述第一距离，并且所述第四距离大于所述第二距离。

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