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浙江大学杭州国际科创中心马海光获国家专利权

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龙图腾网获悉浙江大学杭州国际科创中心申请的专利一种增强石英表面金涂层附着力的表面处理方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119530799B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411661903.4,技术领域涉及:C23C28/00;该发明授权一种增强石英表面金涂层附着力的表面处理方法是由马海光;余学功;余林蔚;李蝶;张少波;杨德仁设计研发完成,并于2024-11-20向国家知识产权局提交的专利申请。

一种增强石英表面金涂层附着力的表面处理方法在说明书摘要公布了:本发明提供一种增强石英表面金涂层附着力的表面处理方法,包括如下步骤:1在清洗干净的石英片上沉积催化金属颗粒;2去除步骤1所得石英片上催化金属颗粒表面的氧化层;3使用硅烷气体,在步骤2所得石英片表面生长硅纳米结构;4将步骤3所得石英片高温氧化,使硅纳米结构变成氧化硅;5将有机金浆涂覆在步骤4所得石英片表面;6将步骤5所得石英片进行热处理,使表面的有机金分解,形成金涂层。本方法可以有效调控纳米结构的形貌,生长的纳米结构可以形成大量的机械咬合作用点,从而能够与金涂层形成机械互锁结构,有效增强石英表面金涂层的附着力。

本发明授权一种增强石英表面金涂层附着力的表面处理方法在权利要求书中公布了:1.一种增强石英表面金涂层附着力的表面处理方法,其特征在于,包括如下步骤: 1在清洗干净的石英片上沉积催化金属颗粒; 2去除步骤1所得石英片上催化金属颗粒表面的氧化层; 3使用硅烷气体,在步骤2所得石英片表面生长硅纳米结构; 4将步骤3所得石英片高温氧化,使硅纳米结构变成氧化硅; 5将有机金浆涂覆在步骤4所得石英片表面; 6将步骤5所得石英片进行热处理,使表面的有机金分解,形成金涂层; 步骤2中工艺条件:温度为150-250℃,氢气流量为15-25SCCM,射频功率为5-15mWcm2,腔室压强为20-50Pa,氢气等离子体处理时间为5-10min; 步骤3中工艺条件:氢气流量为50-70SCCM,硅烷流量为5-10SCCM,腔室温度为300-400℃,射频功率密度为15-35mWcm2,腔室压强为80-120Pa,纳米结构生长时间为5-10min; 步骤4中高温氧化的温度为900-1000℃,时间50-100min; 步骤6中所述热处理的方法为高温退火,高温退火温度为750-850℃,高温退火时间为10-15min,升温速率为10℃min。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人浙江大学杭州国际科创中心,其通讯地址为:311200 浙江省杭州市萧山区经济技术开发区建设三路733号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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