应用材料公司廖天庆获国家专利权
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龙图腾网获悉应用材料公司申请的专利校正离子注入半导体制造工具中的部件故障获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119398192B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411344601.4，技术领域涉及：G06N20/00；该发明授权校正离子注入半导体制造工具中的部件故障是由廖天庆;西马·迪达里;哈里克里希南·拉贾戈帕尔设计研发完成，并于2020-01-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本校正离子注入半导体制造工具中的部件故障在说明书摘要公布了：提供用于校正离子注入半导体制造工具中的部件故障的方法、系统和非暂时性计算机可读介质。一种方法包括以下步骤：从与离子注入工具相关联的传感器接收与特征相对应的当前传感器数据；执行特征分析，以生成针对当前传感器数据的附加特征；提供附加特征作为经训练机器学习模型的输入；从经训练机器学习模型获得一个或多个输出，其中一个或多个输出指示所预测窗口的置信水平；基于所预测窗口的置信水平，来预测离子注入工具的一个或多个部件是否在故障前窗口内；和响应于预测到一个或多个部件是在故障前窗口内，来执行与离子注入工具相关联的校正动作。
本发明授权校正离子注入半导体制造工具中的部件故障在权利要求书中公布了：1.一种用于预测部件故障的方法，所述方法包括以下步骤： 基于传感器数据，确定晶片或显示器制造装备的一个或多个部件在正常操作窗口之后的故障前窗口内，其中在所述正常操作窗口中对应的数据点沿第一健康指数值大体上稳定，其中在所述故障前窗口中所述对应的数据点从所述第一健康指数值增加到第二健康指数值处的峰值；和 响应于确定所述一个或多个部件是在所述故障前窗口内，使得执行与所述晶片或显示器制造装备的所述一个或多个部件相关联的校正动作。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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