中国科学院西安光学精密机械研究所雷昱获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学院西安光学精密机械研究所申请的专利一种离轴三反光学系统的精密装配方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119376062B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411361358.7,技术领域涉及:G02B7/198;该发明授权一种离轴三反光学系统的精密装配方法是由雷昱;贺甜;李治国;汪丽;曹明强;尹雅梅设计研发完成,并于2024-09-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种离轴三反光学系统的精密装配方法在说明书摘要公布了:本发明涉及一种光学系统的装配方法,具体涉及一种离轴三反光学系统的精密装配方法,解决现有离轴三反光学系统具有非旋转对称性且各组件的光轴不在同一轴线上,导致离轴三反光学系统中存在非对称波像差,无法实现高精度装配的技术问题。该离轴三反光学系统的精密装配方法,包括以下步骤:1]分别对主镜组件、次镜组件以及三镜组件粗略定位,直至各个镜组的角度偏差小于等于10″,偏心公差小于等于0.05mm;2]分析离轴三反光学系统的波像差,根据波像差筛选自由度进行像质校正;3]计算次镜和三镜的失调量M;4]根据失调量M精密调整次镜和三镜的角度,使得离轴三反光学系统全视场波像差小于阈值,完成离轴三反光学系的精密装配。
本发明授权一种离轴三反光学系统的精密装配方法在权利要求书中公布了:1.一种离轴三反光学系统的精密装配方法,所述离轴三反光学系统包括主镜组件、次镜组件以及三镜组件;其特征在于,包括以下步骤: 1]以主镜组件为基准,分别对主镜组件、次镜组件以及三镜组件粗略定位,直至各个镜组的角度偏差小于等于10″,偏心公差小于等于0.05mm;具体为: 1.1对主镜组件粗略定位;具体为: 1.1.1、对主镜组件初步定位:在底板17上预留主镜组件安装孔位,主镜组件通过主镜底座1的螺纹孔与底板17安装孔固连; 1.1.2、设置基准面; 以离轴三反光学系统中底板17的上表面作为底板基准面C; 底板17靠近主镜5且与主镜5平行的突出侧壁面作为底板基准面D; 底板17远离主镜5且与主镜5平行的突出侧壁面作为底板基准面E; 底板17靠近主镜5且与主镜5垂直的侧壁面作为底板基准面B; 底板17远离主镜5且与主镜5垂直的侧壁面作为底板基准面F; 1.1.3、对主镜5角度调整; 将第一平面反射镜18设置于底板基准面D处,利用第一经纬仪22与第一平面反射镜18自准,引出基准方向;然后根据基准方向调整主镜5背部基准面A与底板基准面D的夹角,使主镜5背部基准面A与第一经纬仪22的光轴垂直,从而与底板基准面D平行; 1.1.4、对主镜5偏心调整; 利用三坐标测量臂测量主镜5的外圆柱面拟合主镜5轴线,以底板基准面B、C、D三个面为基准,根据测量的主镜5轴线距离底板基准面C的距离x、主镜5轴线距离底板基准面B的水平距离y、主镜5背部基准面A距离底板基准面D的水平距离z调整主镜5偏心; 1.1.5、判断主镜5背部基准面A与底板基准面D的夹角角度偏差是否小于等于10″,且主镜5偏心公差是否小于等于0.05mm,若是,则执行步骤1.2,否则返回步骤1.1.3; 1.2将主镜组件中主镜5背部基准面A的基准传递至三镜12和次镜7; 1.3对次镜组件粗略定位; 1.4对三镜组件粗略定位; 2]利用Zemax光学设计软件分析离轴三反光学系统的波像差,根据波像差调整次镜组件和三镜组件在x轴、y轴的转动自由度进行像质校正; 3]利用Zemax光学设计软件分析得到全视场Zernike波像差系数矩阵ΔZ与灵敏度矩阵A,采用自适应阻尼最小二乘法,计算次镜7和三镜12的失调量M: ; 其中,AT为灵敏度矩阵A的转置矩阵,所述灵敏度矩阵A大小为25×12;ρ为阻尼系数;I表示单位矩阵;全视场Zernike波像差系数矩阵ΔZ大小为25×1; 4]根据失调量M精密调整次镜7和三镜12的角度,使得离轴三反光学系统全视场波像差小于阈值,所述阈值为0.05λ@632.8nm,完成离轴三反光学系的精密装配。
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