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龙图腾网获悉季华实验室申请的专利一种微波远程等离子源参数优化设计方法及相关设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119337534B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411840017.8，技术领域涉及：G06F30/17；该发明授权一种微波远程等离子源参数优化设计方法及相关设备是由黄星星;安丽;赵迎宾;杨振怀设计研发完成，并于2024-12-13向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种微波远程等离子源参数优化设计方法及相关设备在说明书摘要公布了：本发明提供了一种微波远程等离子源参数优化设计方法及相关设备，涉及微波远程等离子源技术领域。该方法包括步骤：根据电子截止密度确定电子密度参数集；设定工作气体的材料参数；设定物理场为频域求解的电磁波场；基于参数化建模结果得到微波远程等离子源在点火状态下以及在工作状态下的电场分布；根据电子密度参数集和预设的放电管厚度参数集获得多种参数组合，并针对各个参数组合获取每个指针对应的指针数据；根据所有指针数据确定最优的放电管厚度。本发明的方法实现了以参数化的评估指标展现电场分布的合理性，达到在进行参数扫描后能够快速确定最优设计参数的效果。

本发明授权一种微波远程等离子源参数优化设计方法及相关设备在权利要求书中公布了：1.一种微波远程等离子源参数优化设计方法，其特征在于，包括以下步骤： S1.在对微波远程等离子源进行参数化建模后，根据电子截止密度确定电子密度参数集，所述电子密度参数集包含所述微波远程等离子源在点火状态下的电子密度以及所述微波远程等离子源在工作状态下的电子密度；所述电子截止密度作为用于区分所述点火状态和所述工作状态的临界条件； S2.将工作气体的材料参数输入多物理场仿真软件中；所述材料参数包括相对磁导率、电导率和相对介电常数； S3.将所述多物理场仿真软件中的物理场设置为频域求解的电磁波场； S4.在所述多物理场仿真软件中配置好频域求解器后，基于参数化建模结果，通过所述多物理场仿真软件得到所述微波远程等离子源在点火状态下以及在工作状态下的电场分布； S5.在所述多物理场仿真软件中定义好用于提取指针数据的多个指针后，根据所述电子密度参数集和预设的放电管厚度参数集获得多种参数组合，并针对各个所述参数组合获取每个所述指针对应的指针数据； S6.根据所有所述指针数据确定最优的放电管厚度； 步骤S5中，在所述多物理场仿真软件中定义好五个指针后，根据以下公式获取各个所述指针的指针数据： ； 其中，为第一个指针的指针数据，为所述微波远程等离子源的微波馈入介质电场模的最大值，为所述微波远程等离子源的工作气体电场模的平均值； ； 其中，为第二个指针的指针数据，为所述微波远程等离子源的微波馈入介质电场模的平均值； ； 其中，为第三个指针的指针数据，为所述微波远程等离子源的放电管壁电场模的平均值； ； 其中，为第四个指针的指针数据； ； 其中，为第五个指针的指针数据；为所述微波远程等离子源的放电管壁电场模的最大值。

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