中国科学院西安光学精密机械研究所尹云飞获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学院西安光学精密机械研究所申请的专利一种基于Sagnac结构的干涉位移测量装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119289866B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411361353.4,技术领域涉及:G01B11/02;该发明授权一种基于Sagnac结构的干涉位移测量装置是由尹云飞;李朝辉;刘勇;赵建科;马臻;孙熙函;毛振设计研发完成,并于2024-09-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于Sagnac结构的干涉位移测量装置在说明书摘要公布了:本发明公开了一种基于Sagnac结构的干涉位移测量装置,解决了现有技术对于直角棱镜的位移测量误差较大,而且无法同时应用于平面反射镜和直角棱镜的位移测量的问题,本发明以直角棱镜代替平面反射镜,避免多阶虚反射光的原路反射的影响,在获取四倍光学细分的情况下,相比如今市面可见及文献报道的激光干涉仪,本发明利用待测直角棱镜以构成Sagnac结构,运用测量结构和参考结构形成的相位解耦形式,不仅利用待测直角棱镜的测量基准来降低测量系统的周期非线性误差,而且利用参考和测量的相位耦合来削弱待测直角棱镜相移中的测量误差,提高位移测量精度。
本发明授权一种基于Sagnac结构的干涉位移测量装置在权利要求书中公布了:1.一种基于Sagnac结构的干涉位移测量装置,用于测量待测直角棱镜3和待测平面反射镜402的位移量,其特征在于:包括双频激光器1、第一偏振分光棱镜201、反射镜401以及第一光纤耦合器601; 所述第一偏振分光棱镜201包括四侧,其中第一侧与第三侧相对,第二侧与第四侧相对; 所述第一侧沿其边长方向依次设置所述双频激光器1和第一光纤耦合器601,双频激光器1用于向第一偏振分光棱镜201出射测量光和参考光;所述第一光纤耦合器601用于接收参与测量后的测量光和参考光,获得相应的多普勒频移信息,实现位移测量; 所述第二侧设置所述反射镜401,反射镜401用于将从第一偏振分光棱镜201出射的光线反射至待测直角棱镜3; 所述第三侧用于设置待测直角棱镜3,待测直角棱镜3的底边一部分与所述第三侧相对,另一部分与反射镜401对应,用于将接收经反射镜401反射的光线,并将其反射至第一偏振分光棱镜201; 所述第四侧用于设置待测平面反射镜402,待测平面反射镜402能够将从第一偏振分光棱镜201出射的光线反射回第一偏振分光棱镜201。
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