中微半导体设备(上海)股份有限公司毛杰获国家专利权
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龙图腾网获悉中微半导体设备(上海)股份有限公司申请的专利一种下电极组件及其等离子体处理装置和方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119008368B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310553750.0，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权一种下电极组件及其等离子体处理装置和方法是由毛杰;唐观扬设计研发完成，并于2023-05-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种下电极组件及其等离子体处理装置和方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种下电极组件及其等离子体处理装置和方法，该下电极组件包含：设备板；静电吸盘，其设置于设备板的上方，静电吸盘的顶面用于承载晶圆，设备板与静电吸盘之间设置有电气元件，电气元件与设备板和静电吸盘电绝缘；直流电源，用于向电气元件提供直流电流；交流电源，用于向电气元件提供交流电流；可调节直流电源向电气元件施加的直流电流值和交流电源向电气元件施加的交流电流值，以快速调节腔内的工艺环境的影响因素。其优点是：可通过调节直流电源向电气元件施加的直流电流值和或交流电源向电气元件施加的交流电流值，快速调节腔内的工艺环境的影响因素，有效地缩短了工艺环境转换的响应时间，还有助于提高腔内环境的调控精度。
本发明授权一种下电极组件及其等离子体处理装置和方法在权利要求书中公布了：1.一种下电极组件，用于真空反应腔内，其特征在于，包含： 设备板； 静电吸盘，其设置于所述设备板的上方，所述静电吸盘的顶面用于承载晶圆，所述设备板与所述静电吸盘之间设置有电气元件，所述电气元件与所述设备板和所述静电吸盘之间电绝缘； 直流电源，用于向所述电气元件提供直流电流； 交流电源，用于向所述电气元件提供交流电流； 其中，同时与所述直流电源和所述交流电源连接的所述电气元件同时具备加热器和磁性线圈的功能，可调节所述直流电源向所述电气元件施加的直流电流值的大小，和所述交流电源向所述电气元件施加的交流电流值的大小，以用于快速调节工艺环境的影响因素，所述工艺环境的影响因素包含温度、磁场强度和磁场分布中的至少一个。
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