西安交通大学;陕西埃恩束能碳基技术有限公司陈仙获国家专利权
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龙图腾网获悉西安交通大学;陕西埃恩束能碳基技术有限公司申请的专利一种单极磁线圈带电粒子束扫描装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118957508B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411033990.9，技术领域涉及：C23C14/32；该发明授权一种单极磁线圈带电粒子束扫描装置及方法是由陈仙;赵玉清;王炎武;李想;李远洁设计研发完成，并于2024-07-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种单极磁线圈带电粒子束扫描装置及方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种单极磁线圈带电粒子束扫描装置及方法，包括带电粒子导入口，以及设置于带电粒子导入口输出侧的带电粒子聚束器，所述带电粒子聚束器的输出侧设置有带电粒子束导向极法兰，所述带电粒子束导向极法兰外壁设置有一个带电粒子束导向装置；所述带电粒子聚束器与带电粒子束的运动方向相交，所述带电粒子聚束器沿带电粒子束的运动方向设置有轴向磁场，所述带电粒子束导向装置设置于带电粒子束的运动方向一侧，所述带电粒子束导向装置包括两个磁性相反的磁极，且仅一个所述磁极靠近带电粒子束，本申请能够控制带电粒子束的偏移方向，可以实现针对性的镀膜，进而能够扩大真空电弧带电粒子镀膜的纵向带电粒子束覆盖范围，提升镀膜均匀性。
本发明授权一种单极磁线圈带电粒子束扫描装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种单极磁线圈带电粒子束扫描装置，其特征在于，包括带电粒子导入口1，以及设置于带电粒子导入口1输出侧的带电粒子聚束器2，所述带电粒子聚束器2的输出侧设置有带电粒子束导向极法兰6，所述带电粒子束导向极法兰6外壁设置有一个带电粒子束导向装置5； 所述带电粒子聚束器2与带电粒子束的运动方向相交，所述带电粒子聚束器2沿带电粒子束的运动方向设置有轴向磁场，所述带电粒子束导向装置5设置于带电粒子束的运动方向一侧，所述带电粒子束导向装置5包括两个磁性相反的磁极，且仅一个所述磁极靠近带电粒子束； 所述带电粒子聚束器2包括带电粒子聚束极法兰20，以及缠绕设置于带电粒子聚束极法兰20上的带电粒子聚束极线圈3； 所述带电粒子聚束器2连接直流电源，所述带电粒子束导向装置5连接交流电源。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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