上海引万光电科技有限公司丁欣获国家专利权
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龙图腾网获悉上海引万光电科技有限公司申请的专利一种基于MEMS的气体控制模块及其应用于的半导体设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118564719B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410676992.3，技术领域涉及：F16K99/00；该发明授权一种基于MEMS的气体控制模块及其应用于的半导体设备是由丁欣设计研发完成，并于2024-05-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于MEMS的气体控制模块及其应用于的半导体设备在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体设备技术领域，提出一种基于MEMS的气体控制模块、构造方法及其应用于的半导体设备。该气体控制模块包括第一衬底，其上设有多个第一微阀门阵列，其中多种反应气体通过所述第一微阀门阵列流入气体控制模块；以及第二衬底，其上设有多个第二微阀门阵列，其中多种反应气体在第一衬底与第二衬底之间混合后通过所述第二微阀门阵列流出气体控制模块。本发明利用MEMS和半导体封装技术对气体面板的结构进行优化，能够获得尺寸更小的气体面板，进而对反应腔体进行更大数量的多路气流分区控制。
本发明授权一种基于MEMS的气体控制模块及其应用于的半导体设备在权利要求书中公布了：1.一种基于MEMS的气体控制模块，其特征在于，包括： 第一衬底和第二衬底，其中在第一衬底以及第二衬底之间形成中间腔体； 外壳，所述外壳包围第一衬底以及第二衬底或设置在第一衬底以及第二衬底之间， 第一衬底包括多个第一通道，每个所述第一通道的第一端设有第一微阀门，多个第一微阀门构成第一微阀门阵列，第一通道的第二端与中间腔体相连， 第二衬底包括多个第二通道，每个所述第二通道的第一端与中间腔体相连并设有第二微阀门，多个第二微阀门构成第二微阀门阵列，所述第二通道的第二端为出口，使得中间腔体内的气体通过所述第二微阀门阵列和第二通道流出， 其中在混气模式下第一气体和第二气体的入口处的微阀门阵列以及通往腔体、注入口或者淋浴头的出口处的微阀门阵列开启，第一气体和第二气体从入口流入，在中间腔体中混合并且流向腔体、注入口或者淋浴头， 在吹扫模式下载气和吹扫气体的入口处的微阀门阵列以及第一衬底或者第二衬底的吹扫气体出口处的微阀门阵列开启，吹扫气体从入口处流入并且从第一衬底或者第二衬底的出口处流出。
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