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无锡新聚力科技有限公司侯从军获国家专利权

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龙图腾网获悉无锡新聚力科技有限公司申请的专利一种用于晶圆物流运输的减震方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN118289340B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202410592998.2,技术领域涉及:B65D81/05;该发明授权一种用于晶圆物流运输的减震方法是由侯从军;徐铮;汪洋设计研发完成,并于2024-05-14向国家知识产权局提交的专利申请。

一种用于晶圆物流运输的减震方法在说明书摘要公布了:本发明涉及晶圆运输技术领域,具体为一种用于晶圆物流运输的减震方法,包括倒门形装载框,所述倒门形装载框上设置有多组上下分布的用于运输过程中对晶圆片进行一级减震的减震机构,每组所述减震机构的数量为两个且呈左右对称,用于调节减震机构的减震效果的调节机构,所述调节机构的数量为两个且分别设置在倒门形装载框的两个竖直段的相背面上,用于装载圆晶片并且对圆晶片进行二级减震的承载机构,通过减震机构对晶圆片进行一级减震配合承载机构对晶圆片进行二级减震,可以保证晶圆片在进行运输的过程中,尽可能小的受到颠簸而产生的震动,避免震动在晶圆片运输的过程中造成晶圆片出现损伤的情况出现。

本发明授权一种用于晶圆物流运输的减震方法在权利要求书中公布了:1.一种用于晶圆物流运输的减震方法,其特征在于:包括以下步骤: S1、准备圆晶片:准备好需要运输的圆晶片,等待装盒; S2、洁净晶圆盒:准备好晶圆盒,并将晶圆盒清洁干净,保证洁净的环境; S3、放置晶圆片:将晶圆片平稳地均匀放置在晶圆盒内,晶圆盒下方具有泡沫垫,确保晶圆片表面不受损坏,避免碰撞和摩擦; S4、封闭晶圆盒:在晶圆盒上方同样放入泡沫垫,关好晶圆盒的盒盖,确保晶圆片在运输过程中不会移动或跌落; S5、晶圆盒运输:将封闭的晶圆盒均匀放置到减震运输装置上进行运输; 上述S5步骤中所涉及的减震运输装置,包括倒门形装载框1,所述倒门形装载框1上设置有多组上下分布的用于运输过程中对晶圆片进行一级减震的减震机构4,每组所述减震机构4的数量为两个且呈左右对称; 用于调节减震机构4的减震效果的调节机构3,所述调节机构3的数量为两个且分别设置在倒门形装载框1的两个竖直段的相背面上; 用于装载圆晶片并且对圆晶片进行二级减震的承载机构2,所述承载机构2设置在两个左右设置的减震机构4的相对面之间; 右侧的所述减震机构4包括设置在倒门形装载框1右侧面执行减震操作的减震件42,所述减震件42的左侧设置有用于与承载机构2连接的连接件41,所述倒门形装载框1的右侧面且位于减震件42的内侧设置有用于控制减震件42执行减震操作的限位件43; 所述限位件43包括固定连接在倒门形装载框1上的安装座431,所述安装座431的前后两端均固定连接有连接滑套433,所述连接滑套433上弹性滑动连接有限位滑杆432,所述限位滑杆432贯穿连接滑套433的左右侧面; 所述减震件42包括固定连接在倒门形装载框1上的两组前后对称的固定块421,每组所述固定块421的数量为两个且呈上下对称,两个上下设置的所述固定块421的相对面之间共同固定连接有安装滑杆422,所述安装滑杆422的圆周面上上下弹性滑动连接有固定滑套423,两个所述固定滑套423的右侧面上共同固定连接有同步板424,所述同步板424上开设有与限位滑杆432相对应且适配的限位孔; 所述连接件41包括固定连接在固定滑套423左侧面的连接柱414,所述倒门形装载框1上开设有与连接柱414相对应切适配的连接通槽,所述连接柱414贯穿连接通槽且与连接通槽滑动连接,两个所述连接柱414的左侧面共同固定连接有固定板412,所述固定板412的左侧面开设有连接滑槽411,所述连接滑槽411的底端内壁开设有限位卡槽413,所述连接滑槽411的前后两端均为倒角设置,所述连接滑槽411的顶端内壁上上下弹性滑动连接有限位压板415,所述限位压板415与固定板412之间设置有连接弹簧。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人无锡新聚力科技有限公司,其通讯地址为:214000 江苏省无锡市锡山区安镇街道厚惠路1016号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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