株式会社斯库林集团安武阳介获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社斯库林集团申请的专利刷子及具备所述刷子的衬底处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117960637B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311384994.7，技术领域涉及：B08B1/12；该发明授权刷子及具备所述刷子的衬底处理装置是由安武阳介;石川道明;大野拓也设计研发完成，并于2023-10-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本刷子及具备所述刷子的衬底处理装置在说明书摘要公布了：本发明的目的在于能通过使刷子作用于衬底的面瞬时依循衬底的倾斜，不对衬底的洗净面造成损伤而进行洗净。本发明涉及一种刷子及具备所述刷子的衬底处理装置。在洗净部77位于衬底的周缘部的情况下，根据周缘部的倾斜，外周刷515相对于中央刷513朝垂直方向移动。外周刷515通过比压缩螺旋弹簧517的弹推力强的与目标载荷相应的来自衬底W的反作用力而瞬时朝上方移动。因此，刷子99的作用面为依循衬底的倾斜的形状。结果，由于外周刷515不会产生歪斜的变形，几乎仅中央刷513作用于衬底，所以不会对衬底的洗净面造成损伤。
本发明授权刷子及具备所述刷子的衬底处理装置在权利要求书中公布了：1.一种刷子，作用于衬底而进行洗净处理，且特征在于具备： 刷子本体，作用于衬底；及 刷座，安装所述刷子本体；且 所述刷子本体具备： 中央刷，构成俯视下的中央部； 至少一个外周刷，配置在所述中央刷的外周侧，且安装成能相对于所述中央刷在垂直方向上滑动；及 弹推机构，以在所述刷子本体位于衬底的中央部的状态下，所述中央刷的下表面与所述外周刷的下表面成为几乎一致的高度，而在所述刷子本体位于衬底的周缘部的状态下，容许所述外周刷根据所述周缘部的倾斜相对于所述中央刷在垂直方向移动的方式，将所述外周刷相对于所述中央刷向衬底侧弹推。
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