福建晶安光电有限公司张佳浩获国家专利权
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龙图腾网获悉福建晶安光电有限公司申请的专利一种晶圆研磨装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117532493B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311482241.X，技术领域涉及：B24B37/08；该发明授权一种晶圆研磨装置是由张佳浩;洪嘉悦;曾柏翔;李瑞评;杨胜裕;孟乐;刘聪毅设计研发完成，并于2023-11-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆研磨装置在说明书摘要公布了：本申请提供了一种晶圆研磨装置，其包括第一研磨盘、第二研磨盘、内齿圈、太阳轮和至少一个行星轮；行星轮上设置有至少一个限位孔，用于对晶圆进行限位。本申请限定限位孔露出第一研磨盘的径向距离L大于限位孔半径R，以使晶圆在研磨过程中，一部分处于第一研磨盘与第二研磨盘之间研磨，一部分处于第一研磨盘与第二研磨盘之外不受研磨，由此在晶圆两侧所受力不同，产生可以促使晶圆自转的力矩，增加晶圆在研磨过程中的自转速率，以使晶圆在研磨过程中一边在行星轮的作用下发生公转，一边在单侧力矩的作用下发生自转，可进一步修复晶圆的边缘翘曲，进而改善晶圆的面型，实现晶圆的平坦化加工。
本发明授权一种晶圆研磨装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆研磨装置，其特征在于，包括第一研磨盘、第二研磨盘、内齿圈、太阳轮和至少一个行星轮； 其中，所述行星轮分别与所述内齿圈的内齿和所述太阳轮的外齿啮合，所述第一研磨盘和所述第二研磨盘分别位于所述行星轮的相对两侧； 所述行星轮上设置有至少一个限位孔，用于对所述晶圆进行限位； 设定所述限位孔的半径为R，所述限位孔露出所述第一研磨盘的径向距离为L，其中，R＜L＜1.25R。
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