福建晶安光电有限公司张佳浩获国家专利权
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龙图腾网获悉福建晶安光电有限公司申请的专利一种用于晶圆研磨的行星轮及晶圆研磨装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117444838B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311482894.8，技术领域涉及：B24B37/28；该发明授权一种用于晶圆研磨的行星轮及晶圆研磨装置是由张佳浩;洪嘉悦;曾柏翔;李瑞评;符桂青;陈铭欣设计研发完成，并于2023-11-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于晶圆研磨的行星轮及晶圆研磨装置在说明书摘要公布了：本申请提供了一种晶圆研磨的行星轮、以及包括该星轮的晶圆研磨装置，该行星轮上设置有限位孔，限位孔上设置有导流沟，用于导入或导出研磨液；导流沟在限位孔的外周上设有开口，开口所在直线与导流沟的侧壁在限位孔所在平面的投影之间的夹角小于90°。基于研磨液的流动性，当晶圆在进行研磨作业时，一边会随着行星轮发生公转，公转过程中研磨液受力甩出，由于甩出路径是沿着导流沟方向，研磨液顺着晶圆的切向甩出，进而会对晶圆产生反作用力，使晶圆受力发生自转，可进一步修复晶圆的边缘翘曲，进而改善晶圆的面型。
本发明授权一种用于晶圆研磨的行星轮及晶圆研磨装置在权利要求书中公布了：1.一种用于晶圆研磨的行星轮，其特征在于，包括： 主体； 设置在所述主体上的至少一个限位孔； 设置在所述主体上的导流沟，所述导流沟在所述限位孔的外周上设有开口，且与所述限位孔连通；所述导流沟的两侧壁在所述主体上的投影的延伸线平行或相交； 所述开口分为第一开口点和第二开口点，设定所述导流沟在所述限位孔所在平面的投影线为所述导流沟的第一长边和第二长边，所述第一长边的长度为导流沟的长度L，所述第一开口点在所述第二长边上，所述第二开口点在所述第二长边上；设定所述第一开口点与所述第二开口点的直线距离为导流沟的宽度W，导流沟的宽度W与导流沟的长度L的关系为0.1LW0.5L； 所述第一长边与所述限位孔在所述第一开口点的切线之间的夹角小于90度； 所述第二长边与所述限位孔在所述第二开口点的切线之间的夹角小于90度。
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