北京维开科技有限公司杜鸿基获国家专利权
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龙图腾网获悉北京维开科技有限公司申请的专利一种电子束蒸发镀膜设备及蒸发镀膜方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117127152B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311075002.2，技术领域涉及：C23C14/32；该发明授权一种电子束蒸发镀膜设备及蒸发镀膜方法是由杜鸿基;陈亮设计研发完成，并于2023-08-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种电子束蒸发镀膜设备及蒸发镀膜方法在说明书摘要公布了：本发明属于蒸镀设备技术领域，具体为一种电子束蒸发机构、带有上述蒸发机构的电子束蒸发镀膜设备及方法，电子束蒸发机构包括位于底部且对称设置的装配底座，在装配底座上安装有整个电子束蒸发机构的固定结构，机构后方设有两个冷却水管接口；机构中央部分设有坩埚，坩埚内放有蒸发镀膜材料，电子枪电机连接电子枪靶枪头，用以对蒸发镀膜材料进行蒸发。本发明提高了蒸镀工艺效率，延长了设备的使用寿命。
本发明授权一种电子束蒸发镀膜设备及蒸发镀膜方法在权利要求书中公布了：1.一种带有电子束蒸发机构的电子束蒸发镀膜设备，其特征在于，所述电子束蒸发机构包括位于底部且对称设置的装配底座，在装配底座上安装有整个电子束蒸发机构的固定结构，机构后方设有两个冷却水管接口；机构中央部分设有坩埚，坩埚内放有蒸发镀膜材料，电子枪电机连接电子枪靶枪头，用以对蒸发镀膜材料进行蒸发； 所述电子束蒸发镀膜设备包括带有斜面的电子束镀膜工艺室，电子束镀膜工艺室腔室壁上嵌入式安装有离子源系统，离子源系统为提供工件预清洗和刻蚀工艺的系统； 根据离子源中心射出射线至工件盘圆心为始点的半径的23处，设计离子源的安装位置； 斜面与底面之间的夹角为120°，测量的是离子源表面中心点到工件盘以圆心为始点23处两点的距离为225mm，离子源表面中心点到工件盘以圆心为始点的23半径处，两点间的直线和工件盘水平方向之间的夹角为30°；且离子源在斜面上的安装位置为：从底边斜面的起始点到斜面中心的距离160mm处。
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