TES股份有限公司崔成哲获国家专利权
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龙图腾网获悉TES股份有限公司申请的专利有机金属化学气相沉积装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117083413B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202280024842.3，技术领域涉及：C23C16/455；该发明授权有机金属化学气相沉积装置是由崔成哲;赵广一设计研发完成，并于2022-03-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本有机金属化学气相沉积装置在说明书摘要公布了：本发明涉及有机金属化学气相沉积装置，更详细地涉及具备能够均匀地供应工艺气体并能够容易地设置且易于维护的气体供应部的有机金属化学气相沉积装置。
本发明授权有机金属化学气相沉积装置在权利要求书中公布了：1.一种有机金属化学气相沉积装置，其特征在于，具备： 腔室，提供对基板进行处理的处理空间； 基板支承部，设置于所述腔室的内部，并安放所述基板；以及 气体供应部，具备提供工艺气体以及吹扫气体的气体提供部以及与所述气体提供部连接而引导所述工艺气体向所述处理空间均匀地供应且能够装卸地连接的引导组件， 所述引导组件具备：多个气体导向板，朝向所述处理空间以预先确定的倾斜度倾斜配置而将所述工艺气体向所述处理空间引导；以及多个固定部，加压固定所述多个气体导向板的后端部， 所述固定部具备：多个第一固定部，与所述多个气体导向板的后端部上面分别接触而进行加压固定；以及多个第二固定部，与所述多个气体导向板的后端部下面分别接触而进行加压固定， 所述第一固定部和所述第二固定部制造成彼此不同的强度。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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