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龙图腾网获悉南通罡丰科技有限公司申请的专利一种石墨坩埚内部积炭深度清理装置及清理工艺获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117000713B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311045448.0，技术领域涉及：B08B9/093；该发明授权一种石墨坩埚内部积炭深度清理装置及清理工艺是由奚衍罡;王洁;李海飞;马嘉骏设计研发完成，并于2023-08-18向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种石墨坩埚内部积炭深度清理装置及清理工艺在说明书摘要公布了：本发明公开了一种石墨坩埚内部积炭深度清理装置及清理工艺，涉及到碳化硅技术领域，包括放置有石墨坩埚的承载板，还包括深度水洗单元和升降单元。本发明结构合理，本装置采用高压去离子水冲洗和超声波清洗相结合的方式对石墨坩埚内腔的深度积炭进行处理，清洗效果好也不存在引入新杂质以及腐蚀问题，且利用高压水的反作用力带动旋转冲洗单元做旋转上升运动，实现对石墨坩埚内壁的全面清洗同时也使得在超声波清洗时旋转冲洗单元移出石墨坩埚内腔，避免阻碍气泡与石墨坩埚内壁面接触而影响清洗效果，同时采用边清洗边过滤循环使用的方式保护清洗液的洁净度，有利于提高清洗效果。

本发明授权一种石墨坩埚内部积炭深度清理装置及清理工艺在权利要求书中公布了：1.一种石墨坩埚内部积炭深度清理装置，包括放置有石墨坩埚3的承载板1，其特征在于：还包括深度水洗单元，用于对所述石墨坩埚3内壁进行水洗；升降单元2，用于带动所述深度水洗单元插入或移出所述石墨坩埚3内腔； 所述深度水洗单元包括旋转冲洗单元4，在向所述石墨坩埚3内腔进行加液的同时利用高压喷射出的水流带动所述旋转冲洗单元4进行旋转上升运动，对所述石墨坩埚3的内侧壁和内底部由下至上进行全面高压冲洗；超声波清洗单元5，用于对所述石墨坩埚3内部进行超声波清洗；循环输液单元，用于将清洗液输送至所述旋转冲洗单元4中，并可对清洗后的废液进行净化后循环使用，所述清洗液采用去离子水； 所述升降单元2安装在所述承载板1上，所述深度水洗单元安装在所述升降单元2上； 所述升降单元2包括呈三角形设置的两个立柱21和一个电动伸缩杆24，两个所述立柱21和一个所述电动伸缩杆24均固定在所述承载板1上，两个所述立柱21上滑动设置有活动板22，两个所述活动板22的上端和一个所述电动伸缩杆24的输出端均与盖合在所述石墨坩埚3上的罩体23的外壁固定连接，所述罩体23的轴心处设置有内部带有螺旋凹槽的通孔26，且所述通孔26的下方设置有容物腔27，所述容物腔27的下方设置有与所述石墨坩埚3上端接触的接触台阶，所述接触台阶上设有弹性密封环25； 所述旋转冲洗单元4包括与所述螺旋凹槽滑动连接的旋转杆41，所述旋转杆41为螺旋结构并沿其轴向向上延伸，所述旋转杆41的上下端面上均设有滚珠，所述旋转杆41上下端外壁上均设有阻挡其旋转运动的阻挡块413，所述旋转杆41的上端通过安装有与其内部螺旋流道相通的连接管道415，所述连接管道415通过旋转接头43与输液软管44连接，所述输液软管44与循环输液单元的出液端连接，所述旋转杆41的下端呈圆周安装有多个导流管，且多个所述导流管上均设置有可对所述旋转杆41提供旋转动力的第一喷液组47和第二喷液组48，所述第一喷液组47和所述第二喷液组48均与所述旋转杆41内部螺旋流道相通，所述第一喷液组47用于对所述石墨坩埚3内侧壁进行冲洗，所述第二喷液组48用于对所述石墨坩埚3内底部进行冲洗； 所述超声波清洗单元5包括若干个呈圆周设置的超声波振动棒，多个所述超声波振动棒均固定安装在所述旋转杆41所围成的圆形腔内，所述超声波振动棒不随着所述旋转冲洗单元4进行旋转上升运动； 还包括助力单元6，用于辅助所述旋转冲洗单元4在水力的推动下做旋转上升的冲洗运动； 所述助力单元6包括固定安装在所述罩体23上的安装柱61和一端与所述旋转接头43上端转动连接的拉绳62，所述安装柱61的上端相对设置有两个定滑轮63，所述拉绳62套设在两所述定滑轮63上，所述拉绳62的另一端系有第一重物64,所述第一重物64的重量小于所述旋转冲洗单元4的重量。

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