之江实验室;中国科学技术大学曾晓东获国家专利权
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龙图腾网获悉之江实验室;中国科学技术大学申请的专利一种基于六方氮化硼中VB-色心的量子气压传感器及使用方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116973027B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310811864.0,技术领域涉及:G01L11/02;该发明授权一种基于六方氮化硼中VB-色心的量子气压传感器及使用方法是由曾晓东;刘伟;李志鹏;郭强;张宁;唐建顺设计研发完成,并于2023-07-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于六方氮化硼中VB-色心的量子气压传感器及使用方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种基于六方氮化硼中VB‑色心的量子气压传感器,包括气压腔,带有样品衬底的石英板,共聚焦扫描成像机构以及带有时序卡的微波检测机构,在用气管连接好待测气压源与气压传感器整体装置后,测量VB‑自旋色心的ODMR信号变化从而得到对应气压压强。本发明还提供了一种使用方法。本发明提供的传感器利用六方氮化硼悬空时,声子辅助增强的优点,相比其他区域具有多倍的光致发光增强,且可以实现在微米级空间分辨率的气压传感响应。
本发明授权一种基于六方氮化硼中VB-色心的量子气压传感器及使用方法在权利要求书中公布了:1.一种基于六方氮化硼中VB-色心的量子气压传感器,其特征在于,包括气压腔,带有样品衬底的石英板,共聚焦扫描成像机构以及带有时序卡的微波检测机构; 所述石英板和样品衬底上均设有金波导,并通过银胶连通构成微波辐射电路; 所述气压腔用于提供待测压力环境; 所述石英板位于气压腔内,在样品衬底上通过圆环形光刻胶与六方氮化硼样品构成密封气腔; 所述共聚焦扫描成像机构,用于采集六方氮化硼样品的光致发光光谱,所述六方氮化硼样品经氦离子注入产生VB-自旋缺陷; 所述微波检测机构,基于光致发光光谱,发送微波和激光至气压腔中的六方氮化硼样品,以微波发送的时间序列生成六方氮化硼样品的光探测磁共振结果; 对光探测磁共振结果进行拟合获得D值,以构建所述D值与气压变化之间的关系。
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