应用材料以色列公司B·戈尔伯格获国家专利权
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龙图腾网获悉应用材料以色列公司申请的专利高吞吐量缺陷检测获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116952831B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310458465.0，技术领域涉及：G01N21/01；该发明授权高吞吐量缺陷检测是由B·戈尔伯格设计研发完成，并于2023-04-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本高吞吐量缺陷检测在说明书摘要公布了：一种用于高吞吐量缺陷检测的方法，所述方法可包括i使用第一检测通道通过包括多个光瞳平面段的分段光瞳平面执行同时检查工艺以从多个光瞳平面段中选择一个或多个感兴趣光瞳平面段；ii配置与第二检测通道相关的一个或多个可配置滤波器以通过从所述一个或多个感兴趣光瞳平面段接收的辐射并阻挡从一个或多个非感兴趣光瞳平面段接收的辐射；以及iii使用所述第二检测通道执行部分掩蔽光瞳平面检查工艺。
本发明授权高吞吐量缺陷检测在权利要求书中公布了：1.一种使用被配置为检测样品上的缺陷的检查系统的高吞吐量缺陷检测的方法，所述方法包括： 利用辐射束照明所述样品； 在所述检查系统的分配透镜处接收所述辐射束的散射部分，所述分配透镜被划分为多个分配透镜平面段； 将在所述多个分配透镜平面段处接收的所述辐射束的所述散射部分引导到第一检测通道，其中在所述多个分配透镜平面段中的每一者处接收的所述辐射束的所述散射部分被引导到所述第一检测通道的不同第一检测通道中； 基于在所述第一检测通道处接收的所述辐射束的所述散射部分，将所述多个分配透镜平面段中的一者或多者识别为感兴趣段，其中所述多个分配透镜平面段具有对应光瞳平面段，并且与所述感兴趣段相关联的光瞳平面段被识别为感兴趣光瞳平面段； 配置与第二检测通道相关联的可配置滤波器，其中所述可配置滤波器具有各自与所述光瞳平面段中的一者相关联的可配置滤波器段，并且所述可配置滤波器被配置为通过所述感兴趣光瞳平面段上的辐射并阻挡非感兴趣光瞳平面段上的辐射；以及 使用所述第二检测通道执行部分掩蔽光瞳平面检查工艺。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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