铠侠股份有限公司渡邉崇史获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉铠侠股份有限公司申请的专利半导体制造装置及半导体装置的制造方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116766047B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210978636.8，技术领域涉及：B24B37/10；该发明授权半导体制造装置及半导体装置的制造方法是由渡邉崇史设计研发完成，并于2022-08-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本半导体制造装置及半导体装置的制造方法在说明书摘要公布了：实施方式提供一种能够进行晶圆面内的详细的温度分布控制，且能够提高研磨速率的面内均一性的半导体制造装置及半导体装置的制造方法。实施方式的半导体制造装置是将研磨对象物保持在研磨头而对所述研磨对象物的表面进行研磨的半导体制造装置。实施方式的半导体制造装置在所述研磨头具有多个激光照射部。实施方式的半导体制造装置中，至少一个所述激光照射部是对所述研磨对象物的背面侧照射激光束的激光照射部。
本发明授权半导体制造装置及半导体装置的制造方法在权利要求书中公布了：1.一种半导体制造装置，包含： 研磨头，保持具有第1表面和第2表面的研磨对象物，所述第1表面是待研磨的表面，所述第2表面与所述第1表面相对，所述研磨头具有面向所述第2表面的下表面，所述下表面具有中心部和外周部，且所述研磨头在从所述中心部到所述外周部的区域中具有组装在所述研磨头中的多个激光照射单元，且 所述多个激光照射单元中的至少一个对所述研磨对象物的所述第2表面照射激光束。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人铠侠股份有限公司，其通讯地址为：日本东京；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励