长春理工大学;吉林省博辉科技有限公司杨立琪获国家专利权
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龙图腾网获悉长春理工大学;吉林省博辉科技有限公司申请的专利一种键合丝工艺缺陷检测系统及工艺缺陷检测方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116735603B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310689211.X,技术领域涉及:G01N21/88;该发明授权一种键合丝工艺缺陷检测系统及工艺缺陷检测方法是由杨立琪;王英志;孟令函;刘轩;鞠明池;韩太林;杨佳设计研发完成,并于2023-06-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种键合丝工艺缺陷检测系统及工艺缺陷检测方法在说明书摘要公布了:本发明涉及一种键合丝工艺缺陷检测系统及工艺缺陷检测方法,该工艺缺陷检测系统包括:二维图像采集模块、三维数据采集模块、运动与控制模块和计算机处理模块;二维图像采集模块用来获取待测键合丝的图像信息;三维数据采集模块用来获取待测键合丝的三维数据;运动与控制模块用来根据计算机处理模块的指定命令,配合二维图像采集模块和或三维数据采集模块,精准移动待测混合集成电路板,完成二维和或三维图像扫描;计算机处理模块用来处理待测键合丝的图像信息和或三维数据,统一分析处理键合丝缺陷的初步检测结果和精准检测结果,将缺陷检测结果输出。本发明提高了混合集成电路的品质和生产效率,为实际工程应用提供一定程度的指导价值。
本发明授权一种键合丝工艺缺陷检测系统及工艺缺陷检测方法在权利要求书中公布了:1.一种键合丝工艺缺陷检测系统,其特征在于,包括:二维图像采集模块、三维数据采集模块、运动与控制模块和计算机处理模块; 所述二维图像采集模块用来获取待测键合丝的图像信息; 所述三维数据采集模块用来获取待测键合丝的三维数据; 所述运动与控制模块用来根据所述计算机处理模块的指定命令,配合所述二维图像采集模块和或所述三维数据采集模块,精准移动待测混合集成电路板,完成二维和或三维图像扫描; 所述计算机处理模块用来处理所述二维图像采集模块采集的待测键合丝的图像信息,获取键合丝定位信息和键合丝缺陷的初步检测结果;处理所述三维数据采集模块采集的待测键合丝的三维数据,进行键合丝三维模型重构,分析处理后得到键合丝缺陷的精准检测结果;统一分析处理键合丝缺陷的初步检测结果和精准检测结果,将最终的缺陷检测结果输出; 所述二维图像采集模块包括:CCD相机1和积分球光源2; 所述CCD相机1用来针对待测键合丝在照明条件下进行拍照,获取相应的图像信息,并将图像信息上传至所述计算机处理模块进行处理; 所述积分球光源2用来提供照射测量面中心位置的多角度光源; 所述三维数据采集模块主要由三维线激光扫描仪构成,包括:至少两个高速CMOS相机镜头3和激光发射器4; 至少两个所述高速CMOS相机镜头3用来多角度地获取键合丝的三维信息; 所述激光发射器4用来将激光投射到混合集成电路待测键合丝区域,与所述运动与控制模块配合进行精准移动扫描,得到待测键合丝的完整三维扫描图; 所述运动与控制模块包括:传送带6,精密运动控制平台8和控制器9; 待测电路板7首先送至二维图像采集模块正下方,将需要拍照检测的键合丝区域调整至指定拍照区域进行图像采集;在二维图像信息采集完成后,二维图像信息传入所述计算机处理模块进行处理,并将得到键合丝定位信息传入到所述控制器9; 所述控制器9根据键合丝定位信息控制三维线激光扫描仪和所述精密运动控制平台8精准移动,将所述激光发射器4正对待测键合丝区域,然后所述精密运动控制平台8步进移动,得到完整键合丝三维扫描数据。
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