买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉福建师范大学申请的专利一种部分相干空间光干涉技术的系统误差消除方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116718567B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310780770.1，技术领域涉及：G01N21/45；该发明授权一种部分相干空间光干涉技术的系统误差消除方法是由郑明杰;李志芳;谭丁辉;杨雨丹设计研发完成，并于2023-06-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种部分相干空间光干涉技术的系统误差消除方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种部分相干空间光干涉技术的系统误差消除方法，即基于PC‑SLIM的波前比较迭代法，该方法通过比较模拟计算所得的φPopk与PC‑SLIM实验得到的φPop0之间的差异，快速迭代更新对原始波前的猜测值φGk，通过反复迭代，可消除PC‑SLIM技术的系统误差，从而大大提高了PC‑SLIM技术的准确度，进而使其成为真正的光学精密检测技术。由于空间光干涉技术具有轴向亚纳米甚至皮米的光程差精度，如果将PC‑SLIM系统改为反射式系统，该方法同样可以适用于半导体芯片的表面精密检测上。

本发明授权一种部分相干空间光干涉技术的系统误差消除方法在权利要求书中公布了：1.一种部分相干空间光干涉技术的系统误差消除方法，其特征在于，包括： 通过基于PC-SLIM的波前比较迭代法消除基于双四步相移法的部分相干空间光干涉显微技术即PC-SLIM技术得到的位相结果φPop0与真实物光波前φReal之间存在的系统误差；将φPop0作为输入初始值即为第一次运算的物光波前相位的初始猜测值φG1；所述初始猜测值即为最佳初始值，可使后续计算快速收敛； 基于PC-SLIM的波前比较迭代法通过计算机模拟PC-SLIM成像过程，对第k次迭代的物光波前进行高通滤波和低通滤波，分别获得散射光和直射光为： 其中，uSkx表示散射光，uDkx表示直射光或者参考光，hHSx表示高通滤波的传递函数，hLSx表示低通滤波的传递函数，k表示第k次迭代计算，F[]表示傅里叶变换，x为空间坐标向量，φGk为物光波前的第k次猜测； 然后由PC-SLIM技术的成像模型，有： φSLIMkx＝angle[uSkx]-angle[uDkx]＝φSkx-φRkx 其中，φSLIMkx表示通过四步相移法测量得到的位相角即散射光角度减去直射光或参考光的角度；angle[]表示取复数波前的角度运算，φSkx表示散射光的位相角，φRkx表示直射光或参考光的位相角，|uRealx|表示真实的物光波前的振幅，φPopk表示第k次迭代的PC-SLIM技术的成像模型得到的位相角； 将这个φPopk与最初的φPop0做对比，获得二者的差值： Δφk＝φPop0-φPopk 如果φPopk与最初的φPop0的差值相比上一轮迭代中的差值的变化小于设定阈值ε： 或者φPopk与最初的φPop0的差值小于设定阈值ε： 则将φGk作为结果输出并退出迭代；所得到的φGk即为消除系统误差后的物光波前φRealx； 如果两个条件都不满足，则更新φGk为： φGk+1＝φGk+Δφk 然后继续迭代。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人福建师范大学，其通讯地址为：350007 福建省福州市仓山区上三路8号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。