应用材料公司付高生获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉应用材料公司申请的专利用于减少节流阀漂移的主动冷却式前级管道陷阱获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116670323B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180088856.7，技术领域涉及：C23C16/44；该发明授权用于减少节流阀漂移的主动冷却式前级管道陷阱是由付高生;T·A·恩古耶;A·班塞尔;K·嘉纳基拉曼;J·C·罗查-阿尔瓦雷斯设计研发完成，并于2021-11-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于减少节流阀漂移的主动冷却式前级管道陷阱在说明书摘要公布了：示例性半导体处理系统包括：处理腔室，所述处理腔室限定处理区域。半导体处理系统可包括前级管道，所述前级管道与处理腔室耦合。前级管道可限定流体导管。半导体处理系统可包括前级管道陷阱，所述前级管道陷阱与前级管道的远端耦合。半导体处理系统可包括可移除插件，在前级管道陷阱的内部内提供所述可移除插件。半导体处理系统可包括节流阀，所述节流阀在可移除插件的下游与前级管道陷阱耦合。
本发明授权用于减少节流阀漂移的主动冷却式前级管道陷阱在权利要求书中公布了：1.一种半导体处理系统，包括： 处理腔室，所述处理腔室限定处理区域； 前级管道，所述前级管道与所述处理腔室耦合，所述前级管道限定流体导管； 前级管道陷阱，所述前级管道陷阱具有与所述前级管道的远端耦合的入口； 可移除插件，在所述前级管道陷阱的内部内提供所述可移除插件，所述可移除插件包括实心基底，其中所述实心基底的远端可移除地耦合到凸缘，所述凸缘包括突出部； 冷却流体源； 冷却区块，所述冷却区块可移除地耦合到所述凸缘的所述突出部； 流体管线，所述流体管线将所述冷却流体源与所述冷却区块耦合，其中 所述冷却流体源被配置为经由所述流体管线使冷却流体循环到所述冷却区块，并且其中所述冷却区块与所述凸缘的所述突出部之间的物理接触产生传热路径，所述传热路径在所述冷却流体循环到所述冷却区块时降低所述可移除插件的温度；以及 节流阀，所述节流阀在所述可移除插件的下游与所述前级管道陷阱的出口耦合。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人应用材料公司，其通讯地址为：美国加利福尼亚州；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励