中国空间技术研究院牛虎获国家专利权
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龙图腾网获悉中国空间技术研究院申请的专利一种宇航级Parylene-C基薄膜及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116641026B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310479832.5,技术领域涉及:C23C14/24;该发明授权一种宇航级Parylene-C基薄膜及其制备方法是由牛虎;李岩;牛诺婕;刘泊天;刘超;汪洋;高鸿;邢焰设计研发完成,并于2023-04-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种宇航级Parylene-C基薄膜及其制备方法在说明书摘要公布了:本发明提供了一种宇航级Parylene‑C基薄膜及其制备方法,属于航空航天材料技术领域。宇航级Parylene‑C基薄膜包括依次成型于待镀器件上的偶联剂层、Parylene‑C主体膜层、胶黏剂层和聚酰亚胺保护膜层。通过使用偶联剂,可使Parylene‑C更加牢固沉积在待镀器件表面;通过使用胶黏剂,可使聚酰亚胺牢固的粘结在在Parylene‑C薄膜表面;通过对Parylene‑C沉积工艺参数的优化,精准的控制了Parylene‑C主体膜层的厚度;通过对聚酰亚胺沉积工艺参数的优化,精准的控制了聚酰亚胺保护膜层的厚度;通过聚酰亚胺保护膜层对Parylene‑C主体膜层的涂覆,大幅提高了Parylene‑C基薄膜的抗辐照性能。本发明制备获得的一种宇航级Parylene‑C基薄膜材料,解决了现有Parylene系列薄膜厚度误差大、附着性能差以及抗辐照能力弱等问题。
本发明授权一种宇航级Parylene-C基薄膜及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种宇航级Parylene-C基薄膜,其特征在于,包括依次成型于待镀器件上的偶联剂层、Parylene-C主体膜层、胶黏剂层和聚酰亚胺保护膜层,所述Parylene-C主体膜层厚度为10~30μm,聚酰亚胺保护膜层厚度为2~5μm;所述偶联剂层为硅烷偶联剂制得;所述胶黏剂层由硅橡胶类胶黏剂制得。
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