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龙图腾网获悉湖南大学申请的专利一种基于快速多极子方法的电子束光刻邻近效应校正版图能量沉积计算方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116482937B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210044985.2，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权一种基于快速多极子方法的电子束光刻邻近效应校正版图能量沉积计算方法是由刘杰;赵浩杰;姚文泽;徐宏成;刘薇;侯程阳设计研发完成，并于2022-01-14向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于快速多极子方法的电子束光刻邻近效应校正版图能量沉积计算方法在说明书摘要公布了：本发明是一种基于快速多极子方法的电子束光刻邻近效应校正版图能量沉积的计算方法，目的是在保证精度的前提下，通过对电子束光刻版图用四叉树进行划分，在保证精度的前提下，将曝光点能量沉积的计算分为远场的近似计算和近场的精确计算，大大减少电子束光刻邻近效应校正中版图能量沉积的计算时间，从而提高电子束光刻邻近效应校正的效率。本发明共分为八个步骤：步骤S1版图网格划分和归一化；步骤S2构造四叉树；步骤S3为每个四叉树节点构造交互列表和邻近列表；步骤S4，节点内源点向节点插值点聚集；步骤S5，同层节点之间插值点转移；步骤S6，父节点插值点向子节点插值点发散；步骤S7，邻近列表计算；步骤S8更新版图曝光剂量。

本发明授权一种基于快速多极子方法的电子束光刻邻近效应校正版图能量沉积计算方法在权利要求书中公布了：1.一种基于快速多极子方法的电子束光刻邻近效应校正版图能量沉积计算方法，其特征在于，包括以下步骤： 步骤S1，对电子束光刻原始版图进行网格划分与归一化，将曝光区域划分为等间隔正方形网格并归一化到[-1,1]×[-1,1]； 步骤S2，基于曝光点数量阈值构造四叉树，以包含所有曝光点的归一化区域为根节点，当节点包含的曝光点数超过预设阈值q时递归划分为四个子节点，直至每个叶节点的曝光点数不超过q； 步骤S3，为每个四叉树节点构造交互列表和邻近列表，其中邻近节点定义为处于同一层级且具有公共边或公共点的节点，包括节点自身，交互列表由父节点的邻近列表中与本节点同层级且非邻近的子节点构成； 步骤S4，将节点内源点向节点的切比雪夫插值点聚集以得到向上等效密度，聚集过程包括曝光点向叶节点插值点聚集以及子节点插值点向父节点插值点聚集； 步骤S5，根据交互列表在同层节点之间进行插值点转移，采用点扩散函数Px,y计算远场曝光点的近似作用，得到向下等效密度； 步骤S6，将父节点的切比雪夫插值点向子节点插值点发散，当节点为内部节点时向其子节点插值点发散，当节点为叶节点时向其包含的曝光点发散，从而得到能量沉积的近似值； 步骤S7，对叶节点内曝光点与其邻近列表内曝光点之间进行精确能量沉积计算； 步骤S8，根据计算结果更新版图的曝光剂量。

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