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龙图腾网获悉长鑫存储技术有限公司申请的专利校正装置及校正方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116481446B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210047504.3，技术领域涉及：G01B11/14；该发明授权校正装置及校正方法是由董帮亮;汪兵设计研发完成，并于2022-01-17向国家知识产权局提交的专利申请。

本校正装置及校正方法在说明书摘要公布了：本公开提供了一种校正装置及校正方法，涉及半导体技术领域。该校正装置用于校正半导体设备的边缘环与功能器件之间的相对位置，校正装置包括：支撑杆、检测装置和控制器，多个支撑杆的一端相对固定，另一端分别安装在功能器件的多个安装孔中，支撑杆倾斜设置；多个检测装置一一对应置设在多个支撑杆上，检测装置用于检测检测装置与边缘环之间的第一距离信息；控制器分别与多个检测装置电连接。本公开通过每个支撑杆上的检测装置进行检测，获取该检测装置与边缘环之间的第一距离信息，而后通过多个第一距离信息完成对边缘环的位置校正，有效提高了测量精度，进而保证半导体结构关键尺寸的一致性，有效提高半导体结构的良率。

本发明授权校正装置及校正方法在权利要求书中公布了：1.一种应用于校正装置的校正方法，其特征在于，用于校正半导体设备的边缘环与功能器件之间的相对位置，所述校正装置包括：多个支撑杆，所述多个支撑杆的一端的位置相对固定，所述多个支撑杆的另一端分别安装在所述功能器件的多个安装孔中，所述支撑杆相对所述功能器件倾斜设置； 多个检测装置，所述检测装置设置于所述支撑杆上，所述检测装置与所述支撑杆一一对应设置，所述检测装置用于检测所述检测装置与所述边缘环之间的第一距离信息； 控制器，分别与所述多个检测装置电连接； 所述校正方法包括： 获取各所述检测装置检测到的所述第一距离信息，所述第一距离信息用于表征各所述检测装置到所述边缘环之间的距离； 获取每个支撑杆的第二距离信息，所述第二距离信息用于表征所述支撑杆的两个端部与功能器件之间的几何位置关系； 根据所述第一距离信息和所述第二距离信息，确定所述支撑杆所在区域内所述功能器件与所述边缘环之间的相对间距； 根据各所述相对间距之间的差值，对所述边缘环的位置进行调整。

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