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沈阳芯达科技有限公司魏猛获国家专利权

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龙图腾网获悉沈阳芯达科技有限公司申请的专利一种晶圆对准控制方法及系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116452666B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310426988.7,技术领域涉及:G06T7/73;该发明授权一种晶圆对准控制方法及系统是由魏猛;李冬海;郑巍;胡延兵设计研发完成,并于2023-04-20向国家知识产权局提交的专利申请。

一种晶圆对准控制方法及系统在说明书摘要公布了:本发明提供了一种晶圆对准控制方法及系统,涉及图像数据处理技术领域,方法包括:通过机器视觉对待对准目标晶圆进行视频采集,对待对准晶圆视频进行关键帧分析,获取N个图像关键帧后进行特征提取,确定待对准晶圆特征信息,根据待对准晶圆特征信息,确定M个晶圆对准位置信息,基于历史晶圆对准位置信息,遍历M个晶圆对准位置信息,获得偏离位置信息,根据偏离位置信息,将M个晶圆对准位置信息进行数据清洗对目标晶圆的对准位置进行控制,本发明解决了现有技术中存在机器视觉对准不良导致对晶圆对准位置的控制不佳,使得最终晶圆对准位置不准确的技术问题,实现了在晶圆对准位置的合理化精准控制,进而提高晶圆对准位置的准确率。

本发明授权一种晶圆对准控制方法及系统在权利要求书中公布了:1.一种晶圆对准控制方法,其特征在于,包括: 通过机器视觉对待对准目标晶圆进行视频采集,获得待对准晶圆视频; 对所述待对准晶圆视频进行关键帧分析,获取N个图像关键帧,其中,N为大于1的正整数; 基于所述N个图像关键帧进行特征提取,确定待对准晶圆特征信息; 根据所述待对准晶圆特征信息,确定M个晶圆对准位置信息,其中M为大于等于2的正整数; 基于历史晶圆对准位置信息,遍历所述M个晶圆对准位置信息,获得偏离位置信息; 根据所述偏离位置信息,将所述M个晶圆对准位置信息进行数据清洗对所述目标晶圆的对准位置进行控制。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人沈阳芯达科技有限公司,其通讯地址为:110167 辽宁省沈阳市浑南区智慧二街400-1号2门(A1-2);或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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