福建省晋华集成电路有限公司刘利晨获国家专利权
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龙图腾网获悉福建省晋华集成电路有限公司申请的专利光刻胶形成设备及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116125752B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310009895.4，技术领域涉及：G03F7/16；该发明授权光刻胶形成设备及方法是由刘利晨设计研发完成，并于2023-01-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本光刻胶形成设备及方法在说明书摘要公布了：本申请公开一种光刻胶形成设备及方法，其中光刻胶形成设备包括旋转吸盘和热量调节设备；所述旋转吸盘用于承载晶圆，并向所承载的晶圆表面旋涂初始膜层；所述热量调节设备设于所述晶圆的至少一侧，用于调节光刻胶的受热状态。本申请得到的光刻胶表面平整，采用上述光刻胶进行后续光刻等工艺，能够精准地进行相关工艺控制，提升对应工艺的质量。
本发明授权光刻胶形成设备及方法在权利要求书中公布了：1.一种光刻胶形成设备，其特征在于，所述光刻胶形成设备包括旋转吸盘和热量调节设备； 所述旋转吸盘用于承载晶圆，并向所承载的晶圆表面旋涂初始膜层； 所述热量调节设备设于所述晶圆的至少一侧，用于调节光刻胶的受热状态； 所述热量调节设备包括位于所述晶圆边缘上方的第一调节设备和位于所述晶圆边缘下方的第二调节设备； 所述光刻胶形成设备还包括所述热量调节设备至少一侧的第一挡光板；所述第一挡光板用于阻挡所述热量调节设备产生的热量射向除所述晶圆边缘以外的区域； 所述光刻胶形成设备还包括烘烤设备；所述烘烤设备设于所述旋转吸盘的正上方，用于烘烤所述旋转吸盘正上方的光刻胶； 其中，所述热量调节设备为所述晶圆的边缘区域提供第一温度环境，所述烘烤设备为所述晶圆的中间区域提供第二温度环境，所述光刻胶在所述第一温度环境和所述第二温度环境中达到均匀受热的状态。
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