华南农业大学梁亨茂获国家专利权
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龙图腾网获悉华南农业大学申请的专利高频感应-低频检测的洛伦兹力式微型磁力计及制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116087841B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310202929.1,技术领域涉及:G01R33/06;该发明授权高频感应-低频检测的洛伦兹力式微型磁力计及制备方法是由梁亨茂;胡振业;于俊伟;张俊明设计研发完成,并于2023-03-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本高频感应-低频检测的洛伦兹力式微型磁力计及制备方法在说明书摘要公布了:本发明公开一种高频感应‑低频检测的洛伦兹力式微型磁力计及制备方法,该磁力计包括高频谐振组件、低频谐振组件以及两组件间的耦合梁;所述高频谐振组件包括驱动电极、高频谐振结构、绝缘层以及金属线圈;所述驱动电极设置在高频谐振结构与衬底片之间;所述低频谐振组件包括感应电极和低频谐振结构;所述高频谐振结构的谐振频率与低频谐振结构的谐振频率成整数比且大于等于2:1。本发明具有谐振频率比大于等于2:1的高频谐振结构与低频谐振结构形成的内共振耦合谐振系统,其中洛伦兹力式磁场感应结构置于高频谐振结构上,而检测输出结构置于低频谐振结构上,同时高频谐振结构采用静电驱动和洛伦兹力驱动相结合,有效降低磁力计功耗。
本发明授权高频感应-低频检测的洛伦兹力式微型磁力计及制备方法在权利要求书中公布了:1.一种高频感应-低频检测的洛伦兹力式微型磁力计,其特征在于,包括高频谐振组件、低频谐振组件以及两谐振组件间的耦合梁; 所述高频谐振组件包括驱动电极、高频谐振结构、绝缘层以及金属线圈,所述绝缘层设置在高频谐振结构上;所述金属线圈设置在绝缘层上; 所述低频谐振组件包括感应电极和低频谐振结构; 所述低频谐振结构与所述高频谐振结构通过所述耦合梁进行连接;所述高频谐振结构的谐振频率与低频谐振结构的谐振频率成整数比关系且频率比大于等于2:1; 在工作状态下,通过对由耦合梁连接高频与低频谐振结构形成的内共振谐振结构的硅本体施加直流偏置电压,对位于低频谐振结构一侧的感应电极施加直流电压,使其与低频谐振结构硅本体形成平板电容器,再者对位于高频谐振结构一侧的驱动电极施加与高频谐振结构的扭转或平动谐振模态同频的交流电压,使高频谐振结构谐振并临近非线性状态;再向高频谐振结构上的金属线圈通入与高频谐振结构的扭转或平动谐振模态同频同相的交流电流,利用该交流电流对应的金属线圈在外磁场下产生洛伦兹力驱动高频谐振结构进入非线性状态,实现静电驱动和洛伦兹力相结合驱动高频谐振结构; 当高频谐振结构进入非线性状态后,达到内共振状态,当输入功率不变的情况下,高频谐振结构的非线性能量会通过耦合梁转移到低频谐振结构中,使低频谐振结构开始振动,并且低频谐振结构因内共振对低频梁振幅的放大效应而产生更大的振幅,通过低频谐振结构一侧的感应电极与低频谐振结构硅本体构成的平板电容器检测电容变化即可反映磁场的大小。
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