买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉浜松光子学株式会社申请的专利激光加工装置、及激光加工方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116075389B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180061227.5，技术领域涉及：H01L21/301；该发明授权激光加工装置、及激光加工方法是由坂本刚志;佐野育;杉浦银治设计研发完成，并于2021-03-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本激光加工装置、及激光加工方法在说明书摘要公布了：本公开的激光加工装置，用于对具有结晶结构的对象物照射激光来形成改性区域，其具备：支撑部，其用于支撑所述对象物；照射部，其用于朝向所述支撑部所支撑的所述对象物照射所述激光；移动部，其用于使所述激光的聚光区域相对于所述对象物相对移动；以及控制部，其用于控制所述移动部及所述照射部，在所述对象物，从与所述激光的入射面交叉的Z方向观察，设定有包含圆弧状的第1区域与圆弧状的第2区域的圆环状的线，所述照射部，具有用于成形所述激光的成形部。

本发明授权激光加工装置、及激光加工方法在权利要求书中公布了：1.一种激光加工装置，其中， 是用于对具有结晶结构的对象物照射激光来形成改性区域的激光加工装置， 具备： 支撑部，其用于支撑所述对象物； 照射部，其用于朝向被所述支撑部支撑的所述对象物照射所述激光； 移动部，其用于使所述激光的聚光区域相对于所述对象物相对移动；以及 控制部，其用于控制所述移动部及所述照射部， 在所述对象物，从与所述激光的入射面交叉的Z方向观察，设定有包含圆弧状的第1区域与圆弧状的第2区域的圆环状的线， 所述照射部具有用于成形所述激光的成形部， 所述控制部实行： 第1加工处理，其通过控制所述照射部及所述移动部，而沿着所述线中的所述第1区域使所述聚光区域相对移动，从而沿着所述第1区域在所述对象物形成所述改性区域，并从该改性区域朝向与所述对象物的所述入射面为相反侧的相反面，形成相对于所述Z方向斜向延伸的斜向龟裂；以及 第2加工处理，其通过控制所述照射部及所述移动部，而沿着所述线中的所述第2区域使所述聚光区域相对移动，从而沿着所述第2区域在所述对象物形成所述改性区域，并形成从该改性区域朝向所述相反面延伸的所述斜向龟裂， 在所述第1加工处理及所述第2加工处理中，所述控制部，将作为所述聚光区域的移动方向的加工行进方向的顺逆在所述第1加工处理和所述第2加工处理中切换。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人浜松光子学株式会社，其通讯地址为：日本静冈县；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。