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龙图腾网获悉华中科技大学申请的专利一种自由度解耦的静电加速度计获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116008594B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211676246.1，技术领域涉及：G01P15/125；该发明授权一种自由度解耦的静电加速度计是由胡明;欧阳超丽;王铖锐;李舵;杨晓甜;陈德璁;白彦峥;周泽兵设计研发完成，并于2022-12-26向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种自由度解耦的静电加速度计在说明书摘要公布了：本发明提供了一种自由度解耦的静电加速度计，属于加速度传感测试领域，包括：敏感探头、电容位移传感电路、反馈静电执行机、PID控制器、DAC电路和偏置电压驱动器；检验质量块的表面被分离成独立的几个部分，DAC电路将正负幅值的模拟偏置电压分别施加至检验质量块上；检验质量块中两两对立的面上施加的偏置电压大小相等且正负相反；电容位移传感电路测试检验质量块在敏感探头中的位置；PID控制器计算反馈电压对电容极板进行控制；反馈静电执行机将反馈电压施加到电容极板上以产生反馈力。传统的静电加速度计需要利用加减组合电路来获取自由度信息，本发明的静电加速度计具有自由度解耦的能力。

本发明授权一种自由度解耦的静电加速度计在权利要求书中公布了：1.一种自由度解耦的静电加速度计，其特征在于，包括：敏感探头、电容位移传感电路、反馈静电执行机、PID控制器、DAC电路、偏置电压驱动器、数据采集单元和偏置电压计算控制单元； 其中，所述敏感探头包括电容极板和检验质量块；检验质量块的每一面均平行设置两块电容极板；电容位移传感电路的输入端连接电容极板，其输出端连接PID控制器；PID控制器的输出端连接反馈静电执行机；反馈静电执行机的输出与电容极板相连；偏置电压驱动器的输出端连接检验质量块；数据采集单元连接电容极板和反馈静电执行机；数据采集单元的输出端连接偏置电压计算控制单元；偏置电压计算控制单元的输出端连接偏置电压驱动器；检验质量块的六个面相互绝缘； 偏置电压驱动器用于输出三组偏置电压，分别为x、y、z方向的偏置电压；DAC电路用于将偏置电压转换为模拟信号，将模拟偏置电压的正负幅值电压施加至检验质量块，以产生静电刚度调节检验质量块的位置；其中，检验质量块中两两对立的面上施加的偏置电压大小相等，正负相反，以使正对的电容极板上施加的反馈电压相同，实现独立调节x、y、z方向的偏置电压；电容位移传感电路用于测试检验质量块在敏感探头中的位置；PID控制器用于根据检验质量块的位置计算反馈电压对电容极板进行控制；反馈静电执行机用于将反馈电压施加到电容极板上以产生六个自由度的反馈力，使检验质量块处于平衡位置；偏置电压计算控制单元用于根据当前检验质量块的工作状态和外界输入加速度，分别计算x、y、z方向的偏置电压； 在平衡点预设范围内，六个自由度的反馈力为： 其中，d是电容极板和质量块之间的平衡间距，为检验质量块处于平衡位置时电容极板与质量块之间的电容，是偏置电压；、、、、和分别是施加在z1、z2、x1、x2、y1和y2两块极板上的反馈电压；、和为检验质量块在z方向、x方向和y方向上所受的平动合力；、为检验质量块在Rx、Ry和Rz方向上所受的转动合力；分别为z1+、z1-、z2+、z2-、x1+、x1-、x2+、x2-、y1+、y1-、y2+和y2-极板上施加的平动反馈力；、、、、、、、、、和分别为z1+、z1-、z2+、z2-、x1+、x1-、x2+、x2-、y1+、y1-、y2+和y2-极板上施加的转动反馈力。

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